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나노 박막으로 이루어진 가공층이 결합된 필름 형태의 가공필름을 롤러유닛에 설치한 상태에서 상기 롤러유닛을 동작시켜 가공필름을 가공영역에 정위치시키는 제1정위치단계;상기 가공영역에서 기설정된 패턴에 대응하여 레이저유닛을 동작시켜 레이저빔으로 상기 가공층을 가공하는 패터닝단계;상기 롤러유닛을 동작시켜 상기 패터닝단계를 거쳐 가공된 상기 가공층을 적층스테이지 또는 상기 적층스테이지에 안착된 기판 상에 정위치시키는 제2정위치단계; 및가공된 상기 가공층이 상기 적층스테이지 또는 상기 기판 상에 적층되도록 스퀴지유닛을 동작시켜 상기 가공필름을 상기 적층스테이지 쪽으로 가압하는 적층단계;를 포함하고,가공된 상기 가공층의 적층 구조에 대응하여 상기 제1정위치단계와, 상기 패터닝단계와, 상기 제2정위치단계와, 상기 적층단계를 순차적으로 반복하며,상기 가공필름은 투명한 재질로 이루어지고,상기 패터닝단계에서 상기 레이저빔은 상기 가공필름을 투과하여 상기 가공층에 조사됨으로써, 상기 가공층을 가공하고,상기 가공층은 내부에 나노 스케일의 기공이 다수 형성된 기능층을 포함하며,상기 제1 정위치단계에서는 가공감지부를 통해 상기 가공층을 가공하기 위한 가공영역에서 상기 가공필름의 정위치 상태를 감지하고,상기 적층단계에서는 적층감지부를 통해 상기 적층스테이지 또는 상기 기판 상에서 가공된 상기 기능층의 정위치 상태를 감지하는 것을 특징으로 하는 나노박막의 레이저 가공을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
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제1항에 있어서,가공된 상기 가공층의 적층 구조에 대응하여 패턴의 종류를 결정하고, 순차적인 반복횟수를 결정하는 반복제어단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노박막의 레이저 가공을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 적층단계를 거친 다음, 상기 반복횟수의 종료 여부를 선택하는 반복마감단계;를 더 포함하고,상기 반복마감단계를 거쳐 상기 반복횟수가 종료되지 않으면, 상기 제1정위치단계로 복귀하는 것을 특징으로 하는 나노박막의 레이저 가공을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 반복마감단계를 거쳐 상기 반복횟수가 종료됨에 따라 상기 적층스테이지 또는 상기 기판으로부터 적층된 상기 가공층을 분리하는 기판분리단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노박막의 레이저 가공을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 패터닝단계는,상기 패턴의 종류에 따라 상기 가공영역에 정위치된 상기 가공층에서 가공해야 되는 패턴을 결정하는 패턴결정단계; 및상기 패턴결정단계에 의해 결정되는 패턴에 따라 상기 레이저유닛을 동작시켜 상기 가공층을 가공하는 헤드구동단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노박막의 레이저 가공을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2정위치단계는,상기 롤러유닛을 동작시켜 가공된 상기 가공층을 상기 적층스테이지 또는 상기 기판 상에 정위치시키는 롤링단계; 및상기 적층스테이지 또는 상기 기판을 승강시켜 상기 가공필름과 상기 기판 사이의 간격을 조절하는 스테이지승강단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노박막의 레이저 가공을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 롤러유닛, 상기 레이저유닛, 상기 스퀴지유닛, 상기 적층스테이지를 초기화하는 초기화단계와, 상기 적층스테이지에 상기 기판을 정위치시키는 기판설치단계를 포함하는 세팅단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노박막의 레이저 가공을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 세팅단계는, 상기 가공필름에 상기 가공층을 결합하는 필름제조단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노박막의 레이저 가공을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가공층은,상기 가공필름의 하부에 탈부착 가능하게 접합되는 필름 형태의 나노박막으로 이루어진 기능층을 포함하고,상기 가공층을 가공한다는 것은,상기 가공영역에서 기설정된 패턴에 대응하여 레이저유닛을 동작시켜 레이저빔으로 상기 기능층을 패터닝하는 것을 특징으로 하는 나노박막의 레이저 가공을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가공층은,패턴이 형성된 상태로 상기 가공필름의 하부에 결합되는 요철부와, 상기 요철부의 패턴에 대응하여 상기 요철부에 탈부착 가능하게 적층 접합되는 기능층을 포함하고,상기 가공층을 가공한다는 것은,상기 가공영역에서 기설정된 패턴에 대응하여 레이저유닛을 동작시켜 레이저빔으로 상기 요철부에서 상기 기능층을 선택적으로 제거하거나 상기 요철부와 상기 기능층을 선택적으로 제거하는 것을 특징으로 하는 나노박막의 레이저 가공을 이용한 3차원 구조체의 제조방법
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