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기재층; 및기재층의 일면에 직접 형성되고, 제1금속전구체 및 화학식 1로 표시되는 제2전구체로부터 유도되는 금속 산화물로 구성되는 무기층을 포함하며,기재층은 수분 또는 산소와 반응성을 갖는 반응성 기재층이고,반응성 기재층은 실리콘, 망간, 칼슘, 마그네슘, 티타늄, 하프늄, 지르코늄, 니켈 및 크롬으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하거나, 반응성 기재층은 페로브스카이트 결정 구조를 가지는 화합물을 포함하는 박막을 포함하며,제1금속 전구체는 디메틸아연 및 디에틸아연으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를 포함하고,제2전구체는 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,4-부탄디싸이올, 1,5-펜탄디싸이올 및 1,6-헥산디싸이올로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를 포함하는 태양전지용 다층 필름:[화학식 1]H-Y-X-Y-H화학식 1에서,X는 탄소수 4 내지 6의 알킬렌이고,Y는 산소를 나타내며,H는 수소이다
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제1전극;제1전극과 대향하여 형성되어 있는 제2전극; 및제1전극과 제2전극 사이에 형성되어 있는 광활성층을 포함하며,광활성층은,페로브스카이트 결정 구조를 가지는 화합물을 포함하는 박막을 포함하는 기재층; 및기재층의 일면에 직접 형성되고, 제1금속 전구체 및 화학식 1로 표시되는 제2전구체로부터 유도되는 금속 산화물로 구성되는 무기층을 포함하며,제1금속 전구체는 디메틸아연 및 디에틸아연으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를 포함하고,제2전구체는 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,4-부탄디싸이올, 1,5-펜탄디싸이올 및 1,6-헥산디싸이올로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를 포함하는 태양전지:[화학식 1]H-Y-X-Y-H화학식 1에서,X는 탄소수 4 내지 6의 알킬렌이고,Y는 산소를 나타내며,H는 수소이다
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기재층에 제1금속 전구체를 흡착시키는 단계;비활성 기체를 공급하여 흡착되지 않은 제1금속 전구체 또는 반응 부산물을 제거하는 단계;제1금속 전구체가 흡착된 기재층에 화학식 1로 표시되는 제2전구체를 흡착시키는 단계;비활성 기체를 공급하여 흡착되지 않은 제2전구체 또는 반응 부산물을 제거하는 단계를 포함하며,기재층은 수분 또는 산소와 반응성을 갖는 반응성 기재층이고,반응성 기재층은 실리콘, 망간, 칼슘, 마그네슘, 티타늄, 하프늄, 지르코늄, 니켈 및 크롬으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하거나, 반응성 기재층은 페로브스카이트 결정 구조를 가지는 화합물을 포함하는 박막을 포함하며,제1금속 전구체는 디메틸아연 및 디에틸아연으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를 포함하고,제2전구체는 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,4-부탄디싸이올, 1,5-펜탄디싸이올 및 1,6-헥산디싸이올로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를 포함하는 제1항에 따른 태양전지용 다층 필름의 제조방법:[화학식 1]H-Y-X-Y-H화학식 1에서,X는 탄소수 4 내지 6의 알킬렌이고,Y는 산소를 나타내며,H는 수소이다
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제1금속 전구체 가스가 유입되는 하나 이상의 제1챔버;화학식 1로 표시되는 제2전구체 가스가 유입되는 하나 이상의 제2챔버;기재층을 제1챔버로 이송하고, 제1챔버를 통과한 기재층을 제2챔버로 이송하는 2 이상의 이송 롤을 포함하며,제1챔버에서 제1금속 전구체 가스는 기재층 상에 제1층을 형성하고, 제2챔버에서 제2전구체는 제2층을 형성하고,기재층은 수분 또는 산소와 반응성을 갖는 반응성 기재층이며,반응성 기재층은 실리콘, 망간, 칼슘, 마그네슘, 티타늄, 하프늄, 지르코늄, 니켈 및 크롬으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하거나, 반응성 기재층은 페로브스카이트 결정 구조를 가지는 화합물을 포함하는 박막을 포함하고,제1금속 전구체는 디메틸아연 및 디에틸아연으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를 포함하며,제2전구체는 1,4-부탄디올, 1,5-펜탄디올, 1,6-헥산디올, 1,4-부탄디싸이올, 1,5-펜탄디싸이올 및 1,6-헥산디싸이올로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 전구체를 포함하는 제1항에 따른 태양전지용 다층 필름의 제조장치:[화학식 1]H-Y-X-Y-H화학식 1에서,X는 탄소수 4 내지 6의 알킬렌이고,Y는 산소를 나타내며,H는 수소이다
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제12항에 있어서,제1챔버 및 제2챔버 사이에 형성되어 있고, 비활성 기체가 유입되는 제3챔버를 추가로 포함하고,제1챔버 또는 제2챔버를 통과한 기재는 제3챔버를 통과하고, 제3챔버에서 비활성 기체는 기재에 증착되지 않은 제1금속 전구체, 제2전구체 또는 그들의 반응 부산물을 제거하는 태양전지용 다층 필름의 제조장치
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