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광학 박막에 의한 산란광을 관측하는 암시야 현미경의 동작 방법에 있어서,상기 광학 박막에 제1 조명광을 조사하고 상기 광학 박막으로부터 산란된 광을 수집하여 제1 조명 영상을 제공하는 단계;상기 광학 박막에 상기 제1 조명광과 동일한 광경로를 통하여 제2 조명광을 조사하고 상기 광학 박막으로부터 산란된 광을 수집하여 제2 조명 영상을 제공하는 단계; 및상기 제1 조명 영상과 상기 제2 조명 영상의 차이로 구성된 차동 영상을 제공하는 단계를 포함하고,상기 제1 조명광은 상기 광학 박막에 대하여 투과광을 증가시키는 조건으로 선택되고, 상기 제2 조명광은 상기 광학 박막에 대하여 반사광을 증가시키는 조건으로 선택되는 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경의 동작 방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 조명광은 p 편광이고, 반사단 측으로 상쇄 간섭이 발생하는 제1 파장(λ1)을 구비하고,상기 제2 조명광은 s 편광이고, 반사단 측에서 보강 간섭이 발생하는 제2 파장(λ2)을 구비하는 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경의 동작 방법
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제2 항에 있어서,상기 제1 파장(λ1)은 다음의 조건을 만족하고,OPD= 2 nd cos(θt) = m λ1,여기서, n은 광학 박막의 굴절률이고, d는 상기 광학 박막의 두께이고, θt는 상기 제1 조명광의 굴절각이고,상기 제2 파장(λ2)은 다음의 조건을 OPD= 2 nd cos(θt) = (m ± 1/2) λ2,만족하는 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경의 동작 방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 조명광 및 상기 제2 조명광은 브루스터 입사각 조건을 가지고,상기 제1 조명광은 p 편광이고,상기 제2 조명광은 s 편광이고,상기 제1 조명광의 파장(λ1)과 상기 제2 조명광의 파장은 동일하고 OPD= 2 nd cos(θt) = (m ± 1/2) λ1,조건을 만족하고,여기서, n은 광학 박막의 굴절률이고, d는 상기 광학 박막의 두께이고, θt는 상기 조명광의 굴절각인 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경의 동작 방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 조명광은 s 편광이고, 반사단 측으로 상쇄 간섭이 발생하는 제1 파장(λ1)을 구비하고,상기 제2 조명광은 s 편광이고, 반사단 측에서 보강 간섭이 발생하는 제2 파장(λ2)을 구비하고,상기 제1 파장(λ1)은 다음의 조건을 만족하고,OPD= 2 nd cos(θt) = m λ1,여기서, n은 광학 박막의 굴절률이고, d는 상기 광학 박막의 두께이고, θt는 상기 제1 조명광의 굴절각이고,상기 제2 파장(λ2)은 다음의 조건을 OPD= 2 nd cos(θt) = (m ± 1/2) λ2,만족하는 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경의 동작 방법
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P 편광된 레이저 빔을 광학 박막에 제1 조명광으로 제공하는 제1 레이저 소스;S 편광된 레이저 빔을 상기 광학 박막에 제2 조명광으로 제공하는 제2 레이저 소스;상기 제1 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제1 셔터;상기 제2 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제2 셔터;상기 제1 레이저 소스의 빔과 제2 레이저 소스의 빔을 결합하여 출력하는 편광빔 분리기;상기 광학 박막을 장착하고 이동시키는 이송 스테이지;상기 광학 박막에서 산란된 광을 수집하여 촬상하는 암시야 현미경 촬상 시스템; 및상기 제1 조명광 하에서 촬상된 제1 조명 영상과 상기 제2 조명광 하에서 촬상된 제2 조명 영상의 차이로 구해진 차동 영상을 제공하는 영상 처리부를 포함하고,상기 제1 조명광은 상기 광학 박막에 대하여 투과도를 증가시키는 조건으로 선택되고, 상기 제2 조명광은 상기 광학 박막에 대하여 반사도를 증가시키는 조건으로 선택되고,상기 제1 조명광은 p 편광이고, 반사단 측으로 상쇄 간섭이 발생하는 제1 파장(λ1)을 구비하고,상기 제2 조명광은 s 편광이고, 반사단 측에서 보강 간섭이 발생하는 제2 파장(λ2)을 구비하는 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경 시스템
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제7 항에 있어서,상기 제1 파장(λ1)은 다음의 조건을 만족하고,OPD= 2 nd cos(θt) = m λ1,여기서, n은 광학 박막의 굴절률이고, d는 상기 광학 박막의 두께이고, θt는 상기 제1 조명광의 굴절각이고,상기 제2 파장(λ2)은 다음의 조건을 OPD= 2 nd cos(θt) = (m ± 1/2) λ2,만족하는 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경 시스템
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P 편광된 레이저 빔을 광학 박막에 제1 조명광으로 제공하는 제1 레이저 소스;S 편광된 레이저 빔을 상기 광학 박막에 제2 조명광으로 제공하는 제2 레이저 소스;상기 제1 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제1 셔터;상기 제2 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제2 셔터;상기 제1 레이저 소스의 빔과 제2 레이저 소스의 빔을 결합하여 출력하는 편광빔 분리기;상기 광학 박막을 장착하고 이동시키는 이송 스테이지;상기 광학 박막에서 산란된 광을 수집하여 촬상하는 암시야 현미경 촬상 시스템; 및상기 제1 조명광 하에서 촬상된 제1 조명 영상과 상기 제2 조명광 하에서 촬상된 제2 조명 영상의 차이로 구해진 차동 영상을 제공하는 영상 처리부를 포함하고,상기 제1 조명광 및 상기 제2 조명광은 브루스터 입사각 조건을 가지고상기 제1 조명광은 p 편광이고,상기 제2 조명광은 s 편광이고,상기 제1 조명광의 파장(λ1)과 상기 제2 조명광의 파장은 동일하고 OPD= 2 nd cos(θt) = (m ± 1/2) λ1,조건을 만족하고,여기서, n은 광학 박막의 굴절률이고, d는 상기 광학 박막의 두께이고, θt는 상기 조명광의 굴절각인 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경 시스템
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s 편광된 레이저 빔을 광학 박막에 제1 조명광으로 제공하는 제1 레이저 소스;s 편광된 레이저 빔을 상기 광학 박막에 제2 조명광으로 제공하는 제2 레이저 소스;상기 제1 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제1 셔터;상기 제2 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제2 셔터;상기 제1 레이저 소스의 빔과 제2 레이저 소스의 빔을 결합하여 출력하는 빔결합기;상기 광학 박막을 장착하고 이동시키는 이송 스테이지;상기 광학 박막에서 산란된 광을 수집하여 촬상하는 암시야 현미경 촬상 시스템; 및상기 제1 조명광 하에서 촬상된 제1 조명 영상과 상기 제2 조명광 하에서 촬상된 제2 조명 영상의 차이로 구해진 차동 영상을 제공하는 영상 처리부를 포함하고,상기 제1 조명광은 s 편광이고, 반사단 측으로 상쇄 간섭이 발생하는 제1 파장(λ1)을 구비하고,상기 제2 조명광은 s 편광이고, 반사단 측에서 보강 간섭이 발생하는 제2 파장(λ2)을 구비하고,상기 제1 파장(λ1)은 다음의 조건을 만족하고,OPD= 2 nd cos(θt) = m λ1,여기서, n은 광학 박막의 굴절률이고, d는 상기 광학 박막의 두께이고, θt는 상기 제1 조명광의 굴절각이고,상기 제2 파장(λ2)은 다음의 조건을 OPD= 2 nd cos(θt) = (m ± 1/2) λ2,만족하는 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경 시스템
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P 편광된 레이저 빔을 광학 박막에 제1 조명광으로 제공하는 제1 레이저 소스;S 편광된 레이저 빔을 상기 광학 박막에 제2 조명광으로 제공하는 제2 레이저 소스;상기 제1 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제1 셔터;상기 제2 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제2 셔터;상기 제1 레이저 소스의 빔과 제2 레이저 소스의 빔을 결합하여 출력하는 편광빔 분리기;상기 광학 박막을 장착하고 이동시키는 이송 스테이지;상기 광학 박막에서 산란된 광을 수집하여 촬상하는 암시야 현미경 촬상 시스템; 및상기 제1 조명광 하에서 촬상된 제1 조명 영상과 상기 제2 조명광 하에서 촬상된 제2 조명 영상의 차이로 구해진 차동 영상을 제공하는 영상 처리부를 포함하고,상기 제1 레이저 소스의 파장과 상기 제2 레이저 소스의 파장은 서로 다르고,상기 제1 조명광의 입사각 및 상기 제2 조명광의 입사각은 프레넬 반사계수가 충분히 크도록 브루스터 각 이상이고,상기 제1 조명광은 반사단에서 상쇄 간섭 조건을 충족하고,상기 제2 조명광은 반사단에서 보강 간섭 조건을 충족하는 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경 시스템
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P 편광된 레이저 빔을 광학 박막에 제1 조명광으로 제공하는 제1 레이저 소스;S 편광된 레이저 빔을 상기 광학 박막에 제2 조명광으로 제공하는 제2 레이저 소스;상기 제1 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제1 셔터;상기 제2 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제2 셔터;상기 제1 레이저 소스의 빔과 제2 레이저 소스의 빔을 결합하여 출력하는 편광빔 분리기;상기 광학 박막을 장착하고 이동시키는 이송 스테이지;상기 광학 박막에서 산란된 광을 수집하여 촬상하는 암시야 현미경 촬상 시스템; 및상기 제1 조명광 하에서 촬상된 제1 조명 영상과 상기 제2 조명광 하에서 촬상된 제2 조명 영상의 차이로 구해진 차동 영상을 제공하는 영상 처리부를 포함하고,상기 제1 레이저 소스의 파장과 상기 제2 레이저 소스의 파장은 서로 동일하고,상기 제1 조명광의 입사각 및 상기 제2 조명광의 입사각은 브루스터 각이고, 상기 제1 조명광은 반사단에서 프레넬 반사계수는 영인 조건을 만족하고,상기 제2 조명광은 반사단에서 보강 간섭 조건을 충족하는 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경 시스템
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s 편광된 레이저 빔을 광학 박막에 제1 조명광으로 제공하는 제1 레이저 소스;s 편광된 레이저 빔을 상기 광학 박막에 제2 조명광으로 제공하는 제2 레이저 소스;상기 제1 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제1 셔터;상기 제2 레이저 소스의 출력단에 배치되어 빔을 개폐하는 제2 셔터;상기 제1 레이저 소스의 빔과 제2 레이저 소스의 빔을 결합하여 출력하는 빔결합기;상기 광학 박막을 장착하고 이동시키는 이송 스테이지;상기 광학 박막에서 산란된 광을 수집하여 촬상하는 암시야 현미경 촬상 시스템; 및상기 제1 조명광 하에서 촬상된 제1 조명 영상과 상기 제2 조명광 하에서 촬상된 제2 조명 영상의 차이로 구해진 차동 영상을 제공하는 영상 처리부를 포함하고,상기 제1 레이저 소스의 파장과 상기 제2 레이저 소스의 파장은 서로 다르고,상기 제1 조명광의 입사각 및 상기 제2 조명광의 입사각은 프레넬 반사계수가 충분히 큰 고입사각 조건이고, 상기 제1 조명광은 반사단에서 상쇄 간섭 조건을 만족하고,상기 제2 조명광은 상기 반사단에서 보강 간섭 조건을 충족하는 것을 특징으로 하는 암시야 조명 현미경 시스템
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