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검사 대상물이 놓이는 스테이지;파장가변 레이저 빔을 제공하는 광원부;표면으로부터 상이한 깊이에 복수의 반사면을 갖는 다층 미러;상기 광원부에서 제공된 상기 파장가변 레이저 빔의 경로를 상기 검사 대상물과 상기 다층 미러 측으로 분할하고, 상기 검사 대상물과 상기 다층 미러에서 반사되는 반사 광 신호들을 혼합하는 빔 스플리터;상기 반사 광 신호들의 혼합으로 형성된 간섭신호를 검출하는 광신호 검출부; 및상기 간섭신호로부터 상기 검사 대상물의 정보를 분석하는 광신호 분석부를 포함하며,상기 반사면들 각각은 상기 다층 미러와 동일한 면적을 가지고, 상기 다층 미러 측으로 분할된 상기 파장가변 레이저 빔은 상기 반사면들의 각 층간에서 반사 및 투과를 반복하여 경로 차이가 발생하는 광학 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 간섭신호는,상기 반사면들 각각에서 반사되는 상기 반사 광 신호들과, 상기 반사면들의 깊이에 대응되는 깊이에서 상기 검사 대상물로부터 반사되는 상기 반사 광 신호들이 결합되어 형성되는 광학 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광신호 분석부에서 상기 검사 대상물의 정보 분석은,획득된 상기 간섭신호들을 푸리에 변환(fourier transform)하는 단계;상기 푸리에 변환 결과로부터 상기 간섭신호들 각각을 분리하는 단계;분리된 상기 간섭신호들을 역 푸리에 변환하는 단계;상기 역 푸리에 변환된 상기 간섭신호들의 주파수 영역에서 위상을 미분하여 위상 기울기 값을 추출하는 단계; 및상기 위상 기울기 값으로부터 상기 검사 대상물의 정보를 획득하는 단계를 포함하는 광학 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 광원부는파장가변 레이저를 발생시키는 광원; 및입사되는 상기 파장가변 레이저를 선형의 상기 파장가변 레이저 빔으로 변형시키고 상기 빔 스플리터 측으로 출력하는 실린더 렌즈를 포함하고,상기 빔 스플리터와 상기 스테이지 사이에 위치하고, 상기 빔 스플리터에서 분할된 상기 파장가변 레이저 빔의 초점을 상기 검사 대상물 상에 형성하는 제1 이미징 렌즈; 및 상기 빔 스플리터와 상기 다층 미러 사이에 위치하고, 상기 빔 스플리터에서 분할된 상기 파장가변 레이저 빔의 초점을 상기 다층 미러 상에 형성하는 제2 이미징 렌즈를 더 포함하는 광학 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 검사 대상물의 정보는 상기 검사 대상물의 두께, 굴절률을 포함하는 광학 검사 장치
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제 1 항에 있어서,상기 파장가변 레이저 빔이 상기 검사 대상물을 스캔하도록, 상기 스테이지를 이동시키는 스테이지 구동부를 더 포함하는 광학 검사 장치
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