| 1 |
1
도금조를 포함하는 전해 증착 장치에 있어서, 일부는 도금욕에 잠기고 일부는 대기 중에 노출되도록 도금조에 배치되는 롤; 및 상기 롤 상부에 위치하며 상기 롤의 대기 중에 노출된 부분 위에 물질을 분사하기 위한 스프레이 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 전해 증착 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 스프레이 노즐이 롤의 길이방향으로 다수 구비되는 것을 특징으로 하는 전해 증착 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 스프레이 노즐이 서로 다른 물질을 도포할 수 있도록 2 종류 이상이 구비되어, 롤의 회전 주기에 따라 교대로 물질을 분사하는 것을 특징으로 하는 전해 증착 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서, 상기 도금욕 상부에는 롤을 제외한 부분에 가림판이 형성되어, 스프레이 노즐에서 분사되는 물질이 도금욕 내로 혼입되지 않게 하는 것을 특징으로 하는 전해 증착 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서, 상기 롤이 전해 도금 시 작동 전극으로서 작용하는 것을 특징으로 하는 전해 증착 장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서, 상기 롤과 스프레이 노즐의 세트가 하나 이상 추가로 구비되는 것을 특징으로 하는 전해 증착 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 롤로부터 코팅된 박막을 분리하여 감기 위한 권취 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전해 증착 장치
|
| 8 |
8
일부는 도금욕에 잠기고 일부는 대기에 노출되도록 롤을 위치시키는 단계; 상기 도금욕의 롤 표면에 모재를 공급하는 단계; 전해 증착을 실시하여 상기 모재의 도금욕에 잠긴 부분에 표면에 제1박막을 형성하는 단계; 상기 롤을 회전시키면서 상기 롤의 증착된 부분이 대기 중으로 노출될 때, 스프레이 노즐로부터 코팅 물질을 분사하여 상기 제1박막 위에 제2박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 방법
|
| 9 |
9
제8항에 있어서, 상기 롤의 회전속도를 제어함으로써 제1박막 또는 제2박막의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 증착 방법
|
| 10 |
10
제8항에 있어서, 상기 롤이 도금욕에 잠기는 높이를 조절함으로써, 상기 제1박막과 상기 제2박막의 상대적인 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는 증착 방법
|
| 11 |
11
제8항에 있어서, 상기 제1박막은 금속 박막이고 상기 제2박막은 기능성 박막인 것을 특징으로 하는 증착 방법
|
| 12 |
12
제11항에 있어서,상기 모재는 구리 시트이며, 상기 금속 박막은 니켈 박막이고, 상기 기능성 박막은 그래핀인 것을 특징으로 하는 증착 방법
|
| 13 |
13
제8항에 있어서, 상기 제1박막 및 제2박막을 형성하는 공정을 2회 이상 수행하여, 다층 구조가 2회 이상 반복되는 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 증착 방법
|
