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밴드갭 보유 그래핀 및 이의 제조방법(GRAPHENE HAVING BAND GAP AND MANUFACTURING METHOD THEREOF)

  • 기술번호 : KST2017016737
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 밴드갭 보유 그래핀, 이의 제조방법, 밴드갭 보유 그래핀의 밴드갭의 조절 방법 및 밴드갭 보유 그래핀 내 이온의 흡착량 측정 방법에 대한 것이다.본 발명에 따른 밴드갭 보유 그래핀은 그래핀 고유의 물성을 그대로 유지하면서, 반도체 소재로 적용되기에 적합한 밴드갭 특성을 가질 수 있다.
Int. CL C01B 31/04 (2016.05.28) B01J 19/00 (2016.05.28) G01N 23/225 (2016.05.28) G01N 27/00 (2016.05.28) H01J 49/38 (2016.05.28)
CPC C01B 32/194(2013.01) C01B 32/194(2013.01) C01B 32/194(2013.01) C01B 32/194(2013.01) C01B 32/194(2013.01) C01B 32/194(2013.01)
출원번호/일자 1020160049872 (2016.04.25)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0121447 (2017.11.02) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.04.25)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정진욱 대한민국 경상북도 포항시 남구
2 김진걸 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 광주과학기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2016-0393442-28
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.11.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0765938-13
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.12.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1220665-59
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2017-1220666-05
5 등록결정서
Decision to grant
2018.04.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0287491-62
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
그래핀; 및상기 그래핀 상에 존재하고, 50 eV 이하의 에너지를 가지는 이온을 포함하고,0
2 2
제1항에 있어서, 그래핀은 결정성 그래핀인 밴드갭 보유 그래핀
3 3
제2항에 있어서, 결정성 그래핀은 실리콘 카바이드에 의해 형성되는 에픽텍셜 그래핀인 밴드갭 보유 그래핀
4 4
제 1항에 있어서,50eV 이하의 에너지를 가지는 이온은 0
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
그래핀 상에 50 eV 이하의 에너지를 가지는 이온을 흡착하는 단계를 포함하고,0
8 8
제 7항에 있어서,그래핀은 결정성 그래핀인 밴드갭 보유 그래핀의 제조방법
9 9
제 7항에 있어서,그래핀은 실리콘 카바이드 기판을 40 내지 60℃의 온도 범위 내에서, 단계적으로 온도를 상승시키는 단계; 및 1,200℃ 내지 1,250℃의 온도 범위 내로 상기 기판을 가열하여, 그래핀을 성장시키는 단계를 포함하여 제조되는 밴드갭 보유 그래핀의 제조방법
10 10
제 7항에 있어서,50 eV 이하의 에너지를 가지는 이온을 흡착하는 단계는 5 x 10-10 Torr 이하의 압력 조건 하에서 수행되는 밴드갭 보유 그래핀의 제조방법
11 11
제 7항에 있어서,50 eV 이하의 에너지를 가지는 이온을 흡착하는 단계는 상온에서 수행되는 밴드갭 보유 그래핀의 제조방법
12 12
제 7항에 있어서,50 eV 이하의 에너지를 가지는 이온을 흡착하는 단계는 10eV의 에너지를 가지는 포타슘 이온을 0
13 13
제 1항의 밴드갭 보유 그래핀의 하면에 위치하는 기판의 온도를 100 ℃ 내지 600℃의 범위 내로 조절하여, 이온의 흡착량을 조절하는 단계를 포함하는 밴드갭 보유 그래핀의 밴드갭 조절 방법
14 14
제 13항에 있어서,기판은 실리콘 카바이드 기판인 밴드갭 조절방법
15 15
제 1항의 밴드갭 보유 그래핀의 이온 흡착량을 일함수 변화를 이용하여 산출하는 단계를 포함하는 밴드갭 보유 그래핀 내 이온의 흡착량 측정 방법
16 16
제15항에 있어서,산출하는 단계는 단위층(1 ML: 1 Monolayer) 단위의 흡착량에 대한 일함수 변화를 측정하는 단계; 및 상기 일함수 변화를 흡착된 이온 함량으로 환산하는 단계를 포함하는 밴드갭 보유 그래핀 내 이온의 흡착량 측정 방법
17 17
삭제
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 포항공과대학교 산학협력단 일반연구자지원사업(기본_개인) 디락 밴드 나노구조물의 형성 및 특이물성 연구