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롤투롤(Roll to Roll)로 이송되는 플렉서블 모기판 상에 표면에너지 조절층을 형성하는 단계;이송되는 상기 표면에너지 조절층 상에 금속 필름을 형성하는 단계; 및상기 플렉서블 모기판으로부터 상기 금속 필름을 분리하는 단계;를 포함하는 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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롤투롤(roll to roll)로 이송되는 플렉서블 모기판 상에 보호층을 형성하는 단계;이송되는 상기 보호층 상에 표면에너지 조절층을 형성하는 단계;이송되는 상기 표면에너지 조절층 상에 금속 필름을 형성하는 단계; 및상기 보호층으로부터 상기 표면에너지 조절층 및 상기 금속 필름을 분리하는 단계;를 포함하는 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 표면에너지 조절층을 형성하는 단계에서는 금속으로 시드층을 형성한 후 상기 시드층에 산소를 공급하여 상기 시드층을 산화시키는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 표면에너지 조절층을 형성하는 단계에서는 상온 및 진공 분위기에서 상기 산소의 분압을 조절하여 상기 시드층의 산화량을 조절하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 표면에너지 조절층을 형성하는 단계에서는, 상기 플렉서블 모기판 또는 상기 보호층에 산소 표면 처리를 수행하고, 산소 표면 처리된 상기 플렉서블 모기판 또는 상기 보호층 상에 금속으로 시드층을 형성하여 상기 시드층을 산화시키는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 산소 표면 처리는, 산소 플라즈마, UV 조사 및 화학적 자기조립단분자막(self-assembled monolayer) 처리 중 하나를 이용하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 표면에너지 조절층을 형성하는 단계에서는, 산소 표면 처리의 세기 및 시간에 따라 상기 플렉서블 모기판 또는 상기 보호층의 표면에 형성되는 수산화기의 본딩 강도를 조절하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 표면에너지 조절층은 Ti, V, Cr, Mn, Zr, Nb, Mo, Tc, Hf, Ta, W, Re, Os을 포함하는 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 금속 필름은 Fe, Ag, Au, Pt, Cu, W, Al, Mo, Ni, Mg을 포함하여 전도성이 10 W/mㅇK 이상으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질 또는 그 합금을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 표면에너지 조절층 또는 상기 금속 필름은 전자선 증착법, 열 증착법, 스퍼터 증착법, 화학기상 증착법, 전기 도금법 및 무전해 도금법 중 하나로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 플렉서블 모기판은, 폴리에스테르(Polyester), 폴리에스테르(Polyester)를 포함하는 공중합체, 폴리이미드(Polyimide), 폴리이미드(Polyimide)를 포함하는 공중합체, 폴리아크릴산(polyacrylic acid), 폴리아크릴산(polyacrylic acid)을 포함하는 공중합체, 폴리스티렌(polystyrene), 폴리스티렌(polystyrene)을 포함하는 공중합체, 폴리설파이트(polysulfate), 폴리설파이트(polysulfate)를 포함하는 공중합체, 폴리아믹산(polyamic acid), 폴리아믹산(polyamic acid)을 포함하는 공중합체, 폴리아민(polyamine), 폴리아민(polyamine)을 포함하는 공중합체, 폴리비닐 알콜(Polyvinylalcohol), 폴리 알릴아민(Polyallyamine) 및 폴리아크릴산(polyacrylic acid)을 포함하는 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 플렉서블 모기판을 클리닝하는 단계를 더 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 금속 필름을 분리하는 단계에서는, 상기 플렉서블 모기판으로부터 상기 표면에너지 조절층 및 상기 금속 필름을 박리하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 금속 필름을 분리하는 단계에서는, 상기 보호층으로부터 상기 표면에너지 조절층 및 상기 금속 필름을 박리하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제13항 또는 제14항에 있어서,분리된 상기 표면에너지 조절층 및 상기 금속 필름에서 상기 표면에너지 조절층을 식각하는 단계를 더 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 금속 필름을 분리하는 단계에서는, 상기 표면에너지 조절층으로부터 상기 금속 필름을 박리하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제2항에 있어서,상기 보호층은 내부식성 금속을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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