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실링 라인을 이용한 플렉서블 금속 필름의 제조 방법(MANUFACTURING MATHOD OF FLEXIBLE METAL FILM USING SEALING LINE)

  • 기술번호 : KST2017016743
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 실링 라인을 이용한 플렉서블 금속 필름의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 롤투롤(Roll to Roll)로 이송되는 플렉서블 모기판 상에 금속 시드층을 형성하는 단계; 이송되는 상기 플렉서블 모기판과 상기 금속 시드층의 가장자리에 실링 라인을 형성하는 단계; 상기 금속 시드층 상에 금속 필름을 형성하는 단계; 및 상기 플렉서블 모기판으로부터 상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름을 분리하는 단계를 포함하는 플렉서블 금속 필름의 제조 방법을 제공한다.
Int. CL H01L 51/00 (2016.05.27) G02F 1/1333 (2016.05.27)
CPC H01L 51/0097(2013.01) H01L 51/0097(2013.01) H01L 51/0097(2013.01) H01L 51/0097(2013.01) H01L 51/0097(2013.01)
출원번호/일자 1020160049379 (2016.04.22)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0121372 (2017.11.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성주 대한민국 부산광역시 사상구
2 이종람 대한민국 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0389695-12
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0568032-72
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
롤투롤(Roll to Roll)로 이송되는 플렉서블 모기판 상에 금속 시드층을 형성하는 단계;이송되는 상기 플렉서블 모기판과 상기 금속 시드층의 가장자리에 실링 라인을 형성하는 단계;상기 금속 시드층 상에 금속 필름을 형성하는 단계; 및상기 플렉서블 모기판으로부터 상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름을 분리하는 단계;를 포함하는 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 실링 라인은 상기 플렉서블 모기판과 상기 금속 시드층의 가장자리를 접합하여 밀봉하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 실링 라인은 내화학성을 갖는 절연성 코팅 물질을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실링 라인은 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane:PDMS) 또는 폴리디메틸실록산을 포함하는 공중합체, 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate:PMMA) 또는 폴리메틸메타크릴레이트를 포함하는 공중합체, 폴리메틸하이드로실록산(Polymethylhydrosiloxane:PMHS) 또는 폴리메틸하이드로실록산을 포함하는 공중합체, 폴리이미드(Polyimide:PI) 또는 폴리이미드를 포함하는 공중합체, 졸겔(Sol-gel), 포토레지스트(Photoresist:PR), 에나멜(Enamel) 로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
5 5
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실링 라인은 슬롯-다이 프린팅(Slot-die printing), 그라비아 프린팅(Gravure printing), 잉크젯 프린팅(Inkjet printing) 및 스크린 프린팅(Screen printing) 중 선택된 하나의 방법으로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 금속 시드층은 1㎚ ~ 10㎚의 두께로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름 각각은, Fe, Ag, Au, Pt, Cu, W, Al, Mo, Ni, Mg을 포함하여 전도성이 10 W/mㅇK 이상으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질 또는 그 합금을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 금속 시드층은 전자선 증착법, 열 증착법, 스퍼터 증착법 및 화학기상 증착법 중 하나의 방법으로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 금속 필름은 5㎛ ~ 50㎛의 두께로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
10 10
제1항에 있어서,상기 금속 필름은 전기 도금법 또는 무전해 도금법으로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
11 11
제1항에 있어서,상기 플렉서블 모기판은, 폴리에스테르(Polyester) 또는 폴리에스테르를 포함하는 공중합체, 폴리이미드(Polyimide:PI) 또는 폴리이미드를 포함하는 공중합체, 폴리아크릴산(polyacrylic acid) 또는 폴리아크릴산을 포함하는 공중합체, 폴리스티렌(polystyrene) 또는 폴리스티렌을 포함하는 공중합체, 폴리설파이트(polysulfate) 또는 폴리설파이트를 포함하는 공중합체, 폴리아믹산(polyamic acid) 또는 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리아민(polyamine) 또는 폴리아민을 포함하는 공중합체, 폴리비닐 알콜(Polyvinylalcohol;PVA), 폴리 알릴아민(Polyallyamine) 및 폴리아크릴산(polyacrylic acid)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 플렉서블 모기판은 표면에 패턴이 형성된, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 플렉서블 모기판을 클리닝하는 단계를 더 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름을 분리하는 단계에서는, 상기 플렉서블 모기판으로부터 상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름을 박리하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
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제14항에 있어서,상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름은 상기 실링 라인을 따라 상기 플렉서블 모기판으로부터 물리적으로 박리하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
16 16
제1항에 있어서,상기 실링 라인을 제거하는 단계를 더 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 포항공과대학교 산학협력단 중견연구자지원사업(핵심연구_개인) 시각적 현장 진단 바이오 센서를 위한 나노 광학 기술