1 |
1
롤투롤(Roll to Roll)로 이송되는 플렉서블 모기판 상에 금속 시드층을 형성하는 단계;이송되는 상기 플렉서블 모기판과 상기 금속 시드층의 가장자리에 실링 라인을 형성하는 단계;상기 금속 시드층 상에 금속 필름을 형성하는 단계; 및상기 플렉서블 모기판으로부터 상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름을 분리하는 단계;를 포함하는 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
2 |
2
제1항에 있어서,상기 실링 라인은 상기 플렉서블 모기판과 상기 금속 시드층의 가장자리를 접합하여 밀봉하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
3 |
3
제1항에 있어서,상기 실링 라인은 내화학성을 갖는 절연성 코팅 물질을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
4 |
4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실링 라인은 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane:PDMS) 또는 폴리디메틸실록산을 포함하는 공중합체, 폴리메틸메타크릴레이트(polymethylmethacrylate:PMMA) 또는 폴리메틸메타크릴레이트를 포함하는 공중합체, 폴리메틸하이드로실록산(Polymethylhydrosiloxane:PMHS) 또는 폴리메틸하이드로실록산을 포함하는 공중합체, 폴리이미드(Polyimide:PI) 또는 폴리이미드를 포함하는 공중합체, 졸겔(Sol-gel), 포토레지스트(Photoresist:PR), 에나멜(Enamel) 로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
5 |
5
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 실링 라인은 슬롯-다이 프린팅(Slot-die printing), 그라비아 프린팅(Gravure printing), 잉크젯 프린팅(Inkjet printing) 및 스크린 프린팅(Screen printing) 중 선택된 하나의 방법으로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
6 |
6
제1항에 있어서,상기 금속 시드층은 1㎚ ~ 10㎚의 두께로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
7 |
7
제1항에 있어서,상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름 각각은, Fe, Ag, Au, Pt, Cu, W, Al, Mo, Ni, Mg을 포함하여 전도성이 10 W/mㅇK 이상으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질 또는 그 합금을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
8 |
8
제1항에 있어서,상기 금속 시드층은 전자선 증착법, 열 증착법, 스퍼터 증착법 및 화학기상 증착법 중 하나의 방법으로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
9 |
9
제1항에 있어서,상기 금속 필름은 5㎛ ~ 50㎛의 두께로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
10 |
10
제1항에 있어서,상기 금속 필름은 전기 도금법 또는 무전해 도금법으로 형성하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
11 |
11
제1항에 있어서,상기 플렉서블 모기판은, 폴리에스테르(Polyester) 또는 폴리에스테르를 포함하는 공중합체, 폴리이미드(Polyimide:PI) 또는 폴리이미드를 포함하는 공중합체, 폴리아크릴산(polyacrylic acid) 또는 폴리아크릴산을 포함하는 공중합체, 폴리스티렌(polystyrene) 또는 폴리스티렌을 포함하는 공중합체, 폴리설파이트(polysulfate) 또는 폴리설파이트를 포함하는 공중합체, 폴리아믹산(polyamic acid) 또는 폴리아믹산을 포함하는 공중합체, 폴리아민(polyamine) 또는 폴리아민을 포함하는 공중합체, 폴리비닐 알콜(Polyvinylalcohol;PVA), 폴리 알릴아민(Polyallyamine) 및 폴리아크릴산(polyacrylic acid)으로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상의 물질을 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
12 |
12
제1항에 있어서,상기 플렉서블 모기판은 표면에 패턴이 형성된, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
13 |
13
제1항에 있어서,상기 플렉서블 모기판을 클리닝하는 단계를 더 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
14 |
14
제1항에 있어서,상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름을 분리하는 단계에서는, 상기 플렉서블 모기판으로부터 상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름을 박리하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
15 |
15
제14항에 있어서,상기 금속 시드층 및 상기 금속 필름은 상기 실링 라인을 따라 상기 플렉서블 모기판으로부터 물리적으로 박리하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|
16 |
16
제1항에 있어서,상기 실링 라인을 제거하는 단계를 더 포함하는, 플렉서블 금속 필름의 제조 방법
|