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외부힘에 의하여 움직이는 운동부를 가지는 마이크로 기전 소자(Microelectromechanical System, MEMS)에 적용되는 충격 방지 구조에 있어서,상기 운동부의 관성력에 의하여 상기 운동부의 운동을 직선 운동으로 변환하는 제1 부재;상기 제1 부재와 상대 운동하는 제2 부재; 및상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 상호 대향하는 한 쌍의 마찰면 각각으로부터 길이방향으로 길게 성장시켜 형성되는 탄소 나노튜브 다발로 구성된 에너지 소산부를 포함하고,상기 제1 부재와 상기 제2 부재는 마이크로 구조물이며, 상기 제1 부재의 마찰면에 형성되는 에너지 소산 수단과 상기 제2 부재의 마찰면에 형성되는 에너지 소산 수단은 그 끝단이 서로 접촉하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 기전 소자의 쿨롱 감쇠 기반 충격 방지 구조
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제1항에 있어서,상기 운동부는 상기 마이크로 기전 소자의 하우징, 프레임 또는 특정 기능을 수행하기 위하여 운동하는 운동 요소 중 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 기전 소자의 쿨롱 감쇠 기반 충격 방지 구조
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제1항에 있어서,상기 제1 부재는 복원력을 가진 스프링 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 기전 소자의 쿨롱 감쇠 기반 충격 방지 구조
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제1항에 있어서,상기 마이크로 구조물은 실리콘 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 기전 소자의 쿨롱 감쇠 기반 충격 방지 구조
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마이크로 기전 소자(Microelectromechanical system, MEMS)에 적용되는 충격 방지 구조에 있어서,상기 마이크로 기전 소자의 외부 힘에 의하여 운동하는 제1 부재;상기 제1 부재와 상대 운동하는 제2 부재; 및상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 상호 대향하는 한 쌍의 마찰면 각각으로부터 길이방향으로 길게 성장시켜 형성되는 탄소 나노튜브 다발로 구성된 에너지 소산부를 포함하고,상기 제1 부재와 상기 제2 부재는 마이크로 구조물이며, 상기 제1 부재의 마찰면에 형성되는 에너지 소산 수단과 상기 제2 부재의 마찰면에 형성되는 에너지 소산 수단은 그 끝단이 서로 접촉하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 기전 소자의 쿨롱 감쇠 기반 충격 방지 구조
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충격 방지 구조가 적용되는 마이크로 기전 소자(Microelectromechanical system, MEMS)에 있어서,상기 충격 방지 구조는,제1 마이크로 구조물;상기 제1 마이크로 구조물과 상대 운동하는 제2 마이크로 구조물; 및상기 제1 마이크로 구조물과 상기 제2 마이크로 구조물의 상호 대향하는 한 쌍의 마찰면 각각으로부터 길이방향으로 길게 성장시켜 형성되는 탄소 나노튜브 다발로 구성된 에너지 소산부를 포함하고,상기 제1 마이크로 구조물의 마찰면에 형성되는 에너지 소산 수단과 상기 제2 마이크로 구조물의 마찰면에 형성되는 에너지 소산 수단은 그 끝단이 서로 접촉하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 마이크로 기전 소자
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