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유연기판을 형성하는 것; 및상기 유연기판 상에 유기발광 구조체를 형성하는 것을 포함하되,상기 유연기판을 형성하는 것은:제 1 금속막 상에 제 1 폴리머 패턴을 형성하는 것;상기 제 1 폴리머 패턴에 의해 노출된 상기 제 1 금속막의 일부분 상에 제 2 금속막을 형성하는 것;상기 제 1 폴리머 패턴 및 상기 제 2 금속막 상에 가스 배리어막을 형성하는 것;상기 가스 배리어막 상에 제 2 폴리머막을 형성하는 것; 및상기 제 1 금속막을 제거하여 제 1 폴리머 패턴의 일면 및 제 2 금속막의 일면을 노출시키는 것을 포함하는 유기발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 금속막 및 상기 제 2 금속막은 서로 다른 물질을 포함하는 유기발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 가스 배리어막은 산화실리콘(SiO2), 질화실리콘(SiNx), 산질화실리콘 (SiOxNy), 산화티타늄(TiO2), 산화지르코늄(ZrO2) 또는 산화알루미늄(Al2O3)을 포함하는 유기발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 가스 배리어막은 폴리아크릴, 폴리우레탄, 에폭시 폴리머, 폴리이미드, 폴리프로필렌, 불소함유 폴리머 또는 실리콘 폴리머를 포함하는 유기발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 가스 배리어막은 한 층 이상의 무기막 또는 한 층 이상의 유기막을 포함하는 유기발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 금속막은 전해도금 또는 무전해 도금을 이용하여 형성되는 유기발광소자의 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 유기발광 구조체는 상기 제 1 폴리머 패턴의 상기 일면 및 제 2 금속막의 상기 일면 상에 형성되는 유기발광소자의 제조 방법
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8
제 1 항에 있어서, 상기 유연기판을 형성하는 것은 상기 제 2 금속막을 형성하기 전에, 상기 제 1 금속막의 표면 상에 촉매제를 도포하는 것을 더 포함하는 유기발광소자의 제조 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 촉매제는 팔라듐(Pd)을 포함하는 유기발광소자의 제조 방법
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10
제 1 항에 있어서, 상기 유연기판을 형성하는 것은 상기 제 2 금속막을 형성하기 전에, 상기 제 1 폴리머 패턴의 표면이 소수성의 특성을 가지도록 상기 제 1 폴리머 패턴의 상기 표면 상에 표면처리 공정을 수행하는 것을 더 포함하는 유기발광소자의 제조 방법
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제 10 항에 있어서, 상기 표면처리 공정은 상기 제 1 폴리머 패턴의 상기 표면 상에 불화 유기막, 실리콘 유기막 또는 자기형성 단일분자막을 형성하는 것을 포함하는 유기발광소자의 제조 방법
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유연기판; 및상기 유연기판 상에 배치된 유기발광 구조체를 포함하되,상기 유연기판은:폴리머 막;상기 폴리머 막 상에 배치된 가스 배리어막; 상기 가스 배리어막 상에 배치된 폴리머 패턴들; 및상기 폴리머 패턴들에 의해 노출된 상기 가스 배리어막의 일부분 상에 배치된 금속 배선을 포함하는 유기발광소자
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제 12 항에 있어서,상기 금속 배선은 제 1 방향으로 연장하며 서로 평행한 제 1 부분들 및 상기 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 연장하며 서로 평행한 제 2 부분들을 포함하되,상기 제 1 부분들 및 상기 제 2 부분들은 서로 교차하는 유기발광소자
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14
제 13 항에 있어서,상기 폴리머 패턴들은 상기 제 1 방향 및 상기 제 2 방향으로 서로 이격 배치되되,상기 제 1 부분들은 상기 제 2 방향으로 인접하는 상기 폴리머 패턴들 사이에 개재되고,상기 제 2 부분들은 상기 제 1 방향으로 인접하는 상기 폴리머 패턴들 사이에 개재되되,상기 유기발광소자는 상기 가스 배리어막의 가장자리 상에 배치되며, 상기 금속 배선을 둘러싸는 사이드 배리어부를 더 포함하되,상기 사이드 배리어부는 상기 제 1 부분들의 단부들 및 상기 제 2 부분들의 단부들과 물리적으로 연결되는 유기발광소자
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제 14 항에 있어서,상기 폴리머 패턴들은 상기 폴리머 막 내에 배치되되,상기 가스 배리어막은 상기 폴리머 막과 상기 폴리머 패턴들 사이에서 상기 폴리머 막과 상기 금속 배선 사이 및 상기 폴리머 막과 상기 사이드 배리어부 사이로 연장하는 유기발광소자
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제 13 항에 있어서,상기 폴리머 패턴들은 상기 제 1 부분들 사이와 상기 제 2 부분들 사이에 중첩하는 공간들 내를 채우는 중심 패턴들 및 상기 중심 패턴들과 이격되고, 상기 금속 배선을 둘러싸는 가장자리 패턴을 포함하는 유기발광소자
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제 12 항에 있어서,상기 폴리머 패턴들은 상기 금속 배선의 두께와 동일한 두께를 갖는 유기발광소자
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제 12 항에 있어서,상기 폴리머 패턴들은 상기 금속 배선의 두께보다 두꺼운 두께를 갖는 유기발광소자
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제 12 항에 있어서,상기 가스 배리어막은 폴리아크릴, 폴리우레탄, 에폭시 폴리머, 폴리이미드, 폴리프로필렌, 불소함유 폴리머 또는 실리콘 폴리머를 포함하는 유기발광소자
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제 12 항에 있어서,상기 가스 배리어막은 한 층 이상의 무기막 또는 한 층 이상의 유기막을 포함하는 유기발광소자
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