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이온빔 조사에 기반한 TMDs 2차원 시트의 개질 방법(MODIFYING METHOD FOR TMDs TWO-DIMENSIONAL SHEET BASED ON ION BEAM IRRADIATION)

  • 기술번호 : KST2017017164
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예에 의하면, 이온빔의 조사를 통해 TMDs 2차원 시트의 전기특성을 변화시킬 수 있으므로, 도핑 등 화학적 처리를 통해서 발생하는 부작용의 해결을 도모할 수 있다. 또한, 이온빔의 조사 조건과 TMDs 2차원 시트의 전기특성의 상관 관계를 분석하고 그 결과를 TMDs 2차원 시트 제작에 반영하면, TMDs 2차원 시트의 전기특성을 원하는 대로 조절할 수 있고, 또한 TMDs 2차원 시트의 전기특성을 정량적으로 분석 및 제어가 가능하다. 즉, 본 발명의 일 측면에 따라 제조되는 TMDs 2차원 시트는 트랜지스터 등의 전자 산업 분야에서 폭넓게 사용될 수 있다.
Int. CL C01B 17/20 (2016.06.08) C01B 19/04 (2016.06.08) B01J 19/08 (2016.06.08)
CPC C01B 17/20(2013.01) C01B 17/20(2013.01) C01B 17/20(2013.01) C01B 17/20(2013.01)
출원번호/일자 1020160054422 (2016.05.03)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0124711 (2017.11.13) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.05.03)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박동혁 대한민국 인천광역시 서구
2 김석호 대한민국 강원도 홍천군
3 최진호 대한민국 경기도 성남시 수정구
4 김형태 대한민국 인천광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신성기 대한민국 서울특별시 강서구 마곡중앙로 **-**, ***호, ***호(마곡동, 에이스타워Ⅱ )(파란특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.05.03 수리 (Accepted) 1-1-2016-0425373-61
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2016.12.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0004278-12
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.08.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0574395-07
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2017.10.17 수리 (Accepted) 1-1-2017-1022340-37
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2017.10.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-1022279-49
8 등록결정서
Decision to grant		 2018.01.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0068198-63
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
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번호 청구항
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제1 기판을 준비하는 제1 기판 준비단계(S10);상기 준비된 제1 기판의 상면에 전도성 접착층을 형성하는 접착층 형성단계(S20);이황화몰리브덴 2차원 시트가 올려진 제2 기판을 상기 전도성 접착층 상면에 부착하는 제2 기판 부착단계(S30); 및상기 이황화몰리브덴 2차원 시트에 저에너지 이온빔을 조사하는 이온빔 조사단계(S40);를 포함하되,상기 제1 기판 준비단계(S10)에서, 상기 제1 기판은 도체 기판이거나 부도체 기판에 전도성 물질이 코팅되거나 도핑된 반도체 기판이고,상기 접착층 형성단계(S20)에서, 상기 전도성 접착층은 실버 페이스트 층이며,상기 제2 기판 부착단계(S30)에서, 상기 제2 기판은 실리콘 기판이고,상기 이온빔 조사단계(S40)에서, 상기 조사된 이온빔은 금속 이온이고,상기 이황화 몰리브덴 2차원 시트는, 상기 조사된 이온빔의 에너지가 140 KeV, 상기 조사된 이온빔의 선량이 1
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 인하대학교 원자력연구기반확충사업/전략기초연구 이온 주입을 통한 차세대 2차원 소재의 특성 조절 및 소자 제작