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BaSnO3 박막 및 이의 저온 제조 방법(BaSnO3 film, and method of low- temperature manufacturing the same)

  • 기술번호 : KST2017017265
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 a) 바륨염, 주석염, 과산화수소수 및 유기산을 포함하는 혼합용액에 알칼리 수용액을 첨가하여 비정질 침전물을 침전시키는 단계; b) 상기 비정질 침전물이 포함된 혼합용액을 예열처리하여 결정질 BaSnO3 전구체 물질을 제조하는 단계; c) 상기 결정질 BaSnO3 전구체 물질을 극성 유기용매에 분산시켜 분산액을 제조하는 단계; d) 상기 분산액을 기판 상에 도포하는 단계; 및 e) 상기 기판 상에 도포된 분산액을 열처리하여 페로브스카이트 구조의 BaSnO3 박막을 제조하는 단계;를 포함하는 BaSnO3 박막의 저온 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL H01L 31/0216 (2017.11.10) H01L 31/0392 (2017.11.10) H01L 31/18 (2017.11.10) H01L 21/02 (2017.11.10) H01L 21/324 (2017.11.10) C01G 19/02 (2017.11.10)
CPC
출원번호/일자 1020170146692 (2017.11.06)
출원인 한국화학연구원, 울산과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0125784 (2017.11.15) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2016-0040923 (2016.04.04)
관련 출원번호 1020160040923
심사청구여부/일자 Y (2017.11.06)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 울산과학기술원 대한민국 울산광역시 울주군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 노준홍 대전광역시 유성구
2 신성식 서울특별시 은평구
3 서장원 서울특별시 성동구
4 석상일 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
2 울산과학기술원 울산광역시 울주군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2017.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-1098373-47
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0832803-19
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2018-0092280-71
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.01.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0092302-98
5 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal		 2018.04.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0269284-06
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0590690-24
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0709363-67
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.07.18 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2018-0709384-15
9 등록결정서
Decision to grant		 2018.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0692095-84
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148444-43
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.20 수리 (Accepted) 4-1-2020-5186266-03
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번호 청구항
1 1
바륨염, 주석염, 10 ~ 50 부피% 농도의 과산화수소수 및 유기산을 포함하는 혼합용액에 알칼리 수용액을 첨가하여 생성된 비정질 침전물이 포함된 혼합용액을 40 내지 100 ℃로 예열처리하여 제조된 5 내지 100 ㎚의 평균 입경을 가진 결정질의 BaSnO3 전구체 물질이 유기용매 분산매에 응집되지 않는 1차 입자 형태로 분산된 BaSnO3 전구체 분산액
2 2
제 1항에 있어서,상기 BaSnO3 전구체 물질은 하기 관계식 1을 만족하는 BaSnO3 전구체 분산액
3 3
제 1항에 있어서,상기 BaSnO3 전구체 물질은 하기 화학식 1을 만족하는 BaSnO3 전구체 분산액
4 4
삭제
5 5
제 1항 내지 제 3항에서 선택되는 어느 한 항의 BaSnO3 전구체 분산액을 포함하는 BaSnO3 전구체 페이스트
6 6
제 1항 내지 제 3항에서 선택되는 어느 한 항의 BaSnO3 전구체 분산액이 도포된 BaSnO3 전구체 박막
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR101804173 KR 대한민국 FAMILY
2 WO2017176038 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국화학연구원 기관고유사업 무/유기 이종소재의 다층구조-나노 융합에 의한 신개념 태양전지 원천기술 개발(KRICT 2020 PROJECT)
2 미래창조과학부 한국화학연구원 원천기술개발사업 광에너지 변환 소재/소자 기술 개발