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정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서 및 이의 제조 방법(GRAPHENE TOUCH SENSORS USING TRIBOELECTRICITY AND METHOD OF FABRICATING THEREOF)

기술번호 : KST2017017315
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 서로 다른 두 물질이 닿았을 때, 각각 반대 극으로 대전되는 정전기 현상을 그래핀에 응용하는 터치 센서에 관한 것이다. 정전기 현상에 의하여 생긴 전압을 그래핀의 게이트 바이어스(gate bias)로써 이용하여 그래핀의 전하 수송 (carrer transport)을 제어하여 정전기를 발생시키는 물질의 종류에 상관없이 구동 가능하다. 투명전극을 정전기 소자로 이용하고, 그래핀을 트랜지스터로 이용함으로써 투명하고 유연한 터치 센서를 제작하였다.
Int. CL	G06F 3/044 (2016.06.09) C01B 31/04 (2016.06.09)
CPC	G06F 3/044(2013.01) G06F 3/044(2013.01) G06F 3/044(2013.01) G06F 3/044(2013.01)
출원번호/일자	1020160056245 (2016.05.09)
출원인	성균관대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2017-0126178 (2017.11.17) 문서열기
공고번호/일자	문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2016.05.09)
심사청구항수	14

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단	대한민국	경기도 수원시 장안구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	김상우	대한민국	경기도 용인시 수지구
2	김태호	대한민국	서울특별시 송파구
3	우스만칸	파키스탄	경기도 수원시 장안구
4	유한준	대한민국	경기도 수원시 장안구
5	최승	대한민국	경기도 안산시 상록구
6	강민기	대한민국	경기도 수원시 장안구
7	김동훈	대한민국	대전광역시 서구
8	승완철	대한민국	경기도 용인시 수지구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	남건필	대한민국	서울특별시 영등포구 경인로 **, 동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2	박종수	대한민국	서울특별시 영등포구 경인로 **, 동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
3	차상윤	대한민국	서울특별시 영등포구 경인로 **, 동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단	대한민국	경기도 수원시 장안구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2016.05.09	수리 (Accepted)	1-1-2016-0437826-78
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2016.08.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2016.10.10	수리 (Accepted)	9-1-2016-0042773-46
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.02.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5028829-43
5	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2017.07.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0506703-49
6	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2017.09.07	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2017-0869732-85
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2017.09.07	수리 (Accepted)	1-1-2017-0869715-19
8	등록결정서 Decision to grant	2018.01.22	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0053564-20

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 기판;상기 기판 상의 동일 평면 상에 배치되며 서로 이격되어 있는 전극층 및 그래핀 채널층;상기 전극층 및 상기 그래핀 채널층에 각각 일부가 접촉되어 연결되어 있는 게이트 유전층;상기 그래핀 채널층의 양단에 형성되어 있는 소스 전극 및 드레인 전극; 및상기 전극층 상에 형성된 접촉층을 포함하고,상기 접촉층은 외부 마찰체의 접촉에 의해 정전기 포텐셜이 발생되어 그래핀 채널층의 전류 특성의 변화에 따라 터치가 감지되며,상기 게이트 유전층은 그래핀의 게이트 특성을 유도하는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서
2	2 제 1 항에 있어서,상기 기판은 플렉서블한 기판인,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서
3	3 삭제
4	4 제 1 항에 있어서,상기 게이트 유전층으로 2차원 절연 물질 또는 이온젤(ion gel)이 이용되는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서
5	5 제 1 항에 있어서,상기 접촉층은 마찰 대전열(triboelectric series)의 가운데에 위치한 소재를 이용해 제작되는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서
6	6 기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 전극층을 증착하는 단계;포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 전극층을 패터닝하는 단계;상기 기판 상에 상기 전극층과 분리되도록 그래핀을 전사하는 단계;포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 그래핀 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계;포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 그래핀을 식각하여 그래핀 채널층을 형성하는 단계;상기 전극층 및 상기 그래핀 채널층에 각각 일부가 접촉되어 연결되도록 게이트 유전층을 형성하는 단계; 및상기 전극층 상에 접촉층을 부착시키는 단계를 포함하고,상기 전극층을 패터닝하는 단계는 포지티브 포토리소그래피 공정을 이용하여 수행되는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서의 제조 방법
7	7 삭제
8	8 제 6 항에 있어서,상기 그래핀 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계는 네거티브 포토리소그래피 공정을 이용하여 수행되는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서의 제조 방법
9	9 제 6 항에 있어서,상기 그래핀을 식각하여 그래핀 채널층을 형성하는 단계는 포지티브 포토리소그래피 공정을 이용하여 수행되는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서의 제조 방법
10	10 기판;상기 기판 상에 배치된 그래핀 채널층;상기 그래핀 채널층 상에 배치된 게이트 유전층;상기 그래핀 채널층 상에 배치되며 상기 게이트 유전층과 분리되어 상기 그래핀 채널층의 양단에 형성되어 있는 소스 전극 및 드레인 전극; 상기 게이트 유전층 상의 전극층; 및상기 전극층 상의 접촉층을 포함하고,상기 접촉층은 외부 마찰체의 접촉에 의해 정전기 포텐셜이 발생되어 그래핀 채널층의 전류 특성의 변화에 따라 터치가 감지되며,상기 게이트 유전층은 그래핀의 게이트 특성을 유도하는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서
11	11 제 10 항에 있어서,상기 기판은 플렉서블한 기판인,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서
12	12 삭제
13	13 제 10 항에 있어서,상기 게이트 유전층으로 2차원 절연 물질 또는 이온젤(ion gel)이 이용되는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서
14	14 제 10 항에 있어서,상기 접촉층은 마찰 대전열(triboelectric series)의 가운데에 위치한 소재를 이용해 제작되는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서
15	15 기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 그래핀을 전사하는 단계;포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 그래핀 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계;포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 그래핀을 식각하여 그래핀 채널층을 형성하는 단계;상기 그래핀 채널층 상에 게이트 유전층을 형성하는 단계;상기 게이트 유전층 상에 전극층을 증착하는 단계;포토리소그래피 공정을 이용하여 상기 전극층을 패터닝하는 단계; 및상기 전극층 상에 접촉층을 부착시키는 단계를 포함하고,상기 전극층을 패터닝하는 단계는 포지티브 포토리소그래피 공정을 이용하여 수행되는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서의 제조 방법
16	16 삭제
17	17 제 15 항에 있어서,상기 그래핀 상에 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하는 단계는 네거티브 포토리소그래피 공정을 이용하여 수행되는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서의 제조 방법
18	18 제 15 항에 있어서,상기 그래핀을 식각하여 그래핀 채널층을 형성하는 단계는 포지티브 포토리소그래피 공정을 이용하여 수행되는,정전기 효과를 이용한 그래핀 터치 감지 센서의 제조 방법

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US10006819	US	미국	FAMILY
2	US20170322094	US	미국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	US10006819	US	미국	DOCDBFAMILY
2	US2017322094	US	미국	DOCDBFAMILY

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2016.05.09	수리 (Accepted)	1-1-2016-0437826-78
2	선행기술조사의뢰서	2016.08.11	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2016.10.10	수리 (Accepted)	9-1-2016-0042773-46
4	출원인정보변경(경정)신고서	2017.02.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5028829-43
5	의견제출통지서	2017.07.20	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2017-0506703-49
6	[명세서등 보정]보정서	2017.09.07	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2017-0869732-85
7	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2017.09.07	수리 (Accepted)	1-1-2017-0869715-19
8	등록결정서	2018.01.22	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2018-0053564-20

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