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엑스선 발생기 및 그것의 구동 방법(X-RAY GENERATOR AND DRIVING METHOD THEREOF)

  • 기술번호 : KST2017017668
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 실시 예에 따른 엑스선 발생기는, 음의 고전압 및 필라멘트 전류를 생성하는 열전자 방출형 엑스선 발생기, 애노드 전극이 접지되며, 상기 음의 고전압을 사용하여 캐소드 전극을 바이어스하는 전계 전자 방출형 엑스선 발생기, 그리고 상기 필라멘트 전류를 변환하여 상기 전계 전자 방출형 엑스선 발생기의 게이트 전극에 제공되는 출력 전압으로 생성하고, 상기 필라멘트 전류를 변환하여 상기 캐소드 전극에 흐르는 방출 전류의 레벨을 특정 레벨로 고정시키는 전계 방출 전류 제어부를 포함한다.
Int. CL A61B 6/00 (2006.01.01) H01J 35/02 (2006.01.01) H01J 35/06 (2006.01.01)
CPC A61B 6/40(2013.01) A61B 6/40(2013.01) A61B 6/40(2013.01)
출원번호/일자 1020160066717 (2016.05.30)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-2165886-0000 (2020.10.07)
공개번호/일자 10-2017-0134144 (2017.12.06) 문서열기
공고번호/일자 (20201015) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020160064299   |   2016.05.25
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.08.10)
심사청구항수 18

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 강준태 대한민국 대전 유성구
2 송윤호 대한민국 대전광역시 서구
3 정진우 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2016-0520327-22
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.08.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-0792502-42
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.12.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0025748-50
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.03.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0177818-55
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.04.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0442120-09
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.04.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0442121-44
8 등록결정서
Decision to grant
2020.10.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0683557-13
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
음의 고전압 및 필라멘트 전류를 생성하는 열전자 방출형 엑스선 발생기;접지되는 애노드 전극을 포함하고, 상기 음의 고전압을 사용하여 캐소드 전극을 바이어스하는 전계 전자 방출형 엑스선 발생기; 그리고상기 필라멘트 전류를 변환하여 상기 전계 전자 방출형 엑스선 발생기의 게이트 전극에 제공되는 출력 전압으로 생성하고, 상기 필라멘트 전류를 변환하여 상기 캐소드 전극에 흐르는 방출 전류의 레벨을 특정 레벨로 고정시키는 전계 방출 전류 제어부를 포함하는 엑스선 발생기
2 2
제 1 항에 있어서,상기 전계 방출 전류 제어부는 상기 필라멘트 전류를 입력 전압으로 변환하기 위한 제 1 저항을 포함하는 엑스선 발생기
3 3
제 2 항에 있어서,상기 전계 방출 전류 제어부는 상기 입력 전압을 상기 출력 전압으로 승압하는 DC-DC 변환기를 포함하는 엑스선 발생기
4 4
제 2 항에 있어서,상기 전계 방출 전류 제어부는:상기 입력 전압을 정전압의 전류 제어 전압으로 변환하는 정전압 소자; 및상기 전류 제어 전압에 응답하여 상기 음의 고전압을 상기 캐소드 전극에 전달하는 스위치 소자를 포함하는 엑스선 발생기
5 5
제 4 항에 있어서,상기 전계 방출 전류 제어부는 상기 입력 전압을 전압 분배하기 위한 제 2 저항을 포함하고, 상기 정전압 소자는 상기 제 2 저항에 직렬 연결되는 엑스선 발생기
6 6
제 5 항에 있어서,상기 스위치 소자는 상기 음의 고전압을 상기 캐소드 전극에 전달하는 트랜지스터로 제공되며, 상기 전류 제어 전압은 상기 트랜지스터의 게이트-소오스 전압으로 제공되는 엑스선 발생기
7 7
제 4 항에 있어서,상기 정전압 소자는 제너 다이오드인 것을 특징으로 하는 엑스선 발생기
8 8
제 1 항에 있어서,상기 전계 전자 방출형 엑스선 발생기는 상기 열전자 방출형 엑스선 발생기의 그리드 전압을 초점 전압으로 제공받는 엑스선 발생기
9 9
애노드 전극이 접지되는 전계 전자 방출형 엑스선 발생기; 그리고소스 전류를 제공받아 음의 고전압을 기준으로 상기 전계 전자 방출형 엑스선 발생기의 게이트 전극에 제공되는 출력 전압을 생성하고, 상기 소스 전류를 이용하여 상기 전계 전자 방출형 엑스선 발생기의 캐소드 전극에 흐르는 방출 전류를 제어하는 전계 방출 전류 제어부를 포함하되,상기 소스 전류는 열전자 방출형 엑스선 발생기의 필라멘트 전류인 것을 특징으로 하는 엑스선 발생기
10 10
제 9 항에 있어서,상기 전계 방출 전류 제어부는 제 1 저항을 사용하여 상기 소스 전류를 상기 음의 고전압보다 높은 입력 전압으로 변환하는 엑스선 발생기
11 11
제 10 항에 있어서,상기 전계 방출 전류 제어부는 상기 입력 전압을 상기 출력 전압으로 승압하는 DC-DC 변환기를 포함하는 엑스선 발생기
12 12
제 10 항에 있어서,상기 전계 방출 전류 제어부는, 상기 입력 전압을 분배하기 위한 제 2 저항과, 상기 제 2 저항에 직렬 연결되는 제너 다이오드를 포함하는 엑스선 발생기
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 전계 방출 전류 제어부는 상기 음의 고전압을 상기 캐소드 전극에 전달하기 위한 NMOS 트랜지스터를 포함하며, 상기 제너 다이오드의 양단에 분배된 전압이 상기 NMOS 트랜지스터의 게이트-소오스 전압으로 제공되는 엑스선 발생기
14 14
삭제
15 15
제 9 항에 있어서,상기 전계 전자 방출형 엑스선 발생기는 상기 열전자 방출형 엑스선 발생기의 그리드 전압을 제공받아 초점 전극에 제공하는 엑스선 발생기
16 16
애노드 전극이 접지되는 전계 전자 방출형 엑스선 발생기의 구동 방법에 있어서:열전자 방출형 엑스선 발생기로부터 음의 고전압 및 필라멘트 전류를 제공받는 단계;상기 필라멘트 전류를 변환하여 상기 전계 전자 방출형 엑스선 발생기의 게이트 전극에 제공되는 출력 전압을 생성하는 단계;상기 필라멘트 전류를 변환하여 상기 전계 전자 방출형 엑스선 발생기의 캐소드 전극에 흐르는 방출 전류를 제어하기 위한 전류 제어 전압을 생성하는 단계; 및상기 출력 전압을 상기 게이트 전극에 제공하고, 상기 전류 제어 전압을 상기 전계 전자 방출형 엑스선 발생기의 캐소드 전극에 상기 음의 고전압을 전달하기 위한 트랜지스터의 게이트-소오스 전압으로 인가하는 단계를 포함하는 구동 방법
17 17
제 16 항에 있어서,상기 출력 전압을 생성하는 단계는:저항을 이용하여 상기 필라멘트 전류를 입력 전압으로 변환하는 단계; 및상기 입력 전압을 승압하여 상기 출력 전압으로 생성하는 단계를 포함하는 구동 방법
18 18
제 17 항에 있어서,상기 전류 제어 전압을 생성하는 단계에서 상기 전류 제어 전압은 상기 입력 전압을 분배하고 분배된 전압을 제너 다이오드를 사용하여 정전압으로 생성하는 구동 방법
19 19
제 16 항에 있어서,상기 열전자 방출형 엑스선 발생기의 그리드 전압을 제공받아 상기 전계 전자 방출형 엑스선 발생기의 초점 전극에 제공하는 단계를 더 포함하는 구동 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 국가과학기술연구회 한국전자통신연구원 융합연구사업 영상기반 초미세 실시간 검사 및 결함 분리 시스템 개발