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기재 상부에 금속산화물, 금속질화물 및 금속황화물에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 반사감소층을 스퍼터링하는 단계와 상기 반사감소층의 상부에 불소계고분자와 전도성 기능화제를 포함하는 불소계고분자 복합 타겟을 이용하여 불활성 기체 분위기 하에서 반사방지층을 스퍼터링하는 단계를 포함하는 반사방지 필름의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 반사감소층과 반사방지층은 MF 또는 DC 스퍼터링으로 증착되는 것인 반사방지 필름의 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 반사감소층은 타이타늄, 지르코늄, 하프늄, 나이오븀, 탄탈륨, 바나듐, 텅스텐, 알루미늄, 갈륨, 인듐, 아연, 실리콘, 안티몬, 주석, 세륨, 셀레늄, 이트륨, 마그네슘 및 게르마늄에서 선택되는 금속을 포함하는 것인 반사방지 필름의 제조방법
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제 3항에 있어서,상기 반사감소층은 고굴절율층 및 저굴절율층을 가지며, 상기 저굴절율층은 규소(Si) 및 마그네슘(Mg)에서 선택되는 하나 이상의 금속 산화물을 포함하는 것인 반사방지 필름의 제조방법
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제 4항에 있어서,상기 고굴절율층은 타이타늄, 지르코늄, 나이오븀, 아연, 인듐, 알루미늄, 안티몬, 주석, 세륨, 셀레늄 및 이트륨에서 선택되는 하나 이상의 금속을 포함하는 것인 반사방지 필름의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 반사감소층은 고굴절율층을 증착하는 단계 및 저굴절율층을 증착하는 단계를 반복 수행하여 다층 구조를 형성하는 것인 반사방지 필름의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 전도성 기능화제는 전도성입자, 전도성 고분자 및 금속성분에서 선택되는 하나 이상인 반사방지 필름의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 반사방지층은 금속유기물, 금속산화물, 금속탄소체, 금속수산화물, 금속카보네이트, 금속바이카보네이트, 금속질화물 및 금속불화물에서 선택되는 하나 이상의 금속화합물을 더 포함하는 것인 반사방지 필름의 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 기재를 롤투롤 방식으로 이송시키면서 스퍼터링 공정이 수행되는 것인 반사방지 필름의 제조방법
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