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설치된 태양전지의 보호 기판에 반사광을 감소하고, 자가 세정 능력을 향상시키기 위하여 미세 폴리머 코팅층을 형성하도록 하는 플라즈마 표면처리 장치로서,서로 마주하는 전극이 구비되며, 공급된 가스에 의해 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생기;상기 전극에 교류 전원을 공급하는 전원부;상기 플라즈마 발생기에 불활성 가스와, CxFy 계열의 가스 또는 CxHy 계열의 가스를 공급하는 가스 공급 장치;상기 가스 공급 장치에서 공급되는 가스 공급량을 조절하는 밸브부; 및상기 설치된 태양전지의 샤시부에 거치되어 지지되도록 상기 플라즈마 발생기의 일단에 형성되는 거치부를 포함하고,상기 가스 공급 장치는상기 불활성 가스를 상기 플라즈마 발생기에 공급하는 제1 가스 공급부;상기 CxFy 계열의 가스를 상기 플라즈마 발생기에 공급하는 제2 가스 공급부 및상기 CxHy 계열의 가스를 상기 플라즈마 발생기에 공급하는 제3 가스 공급부를 포함하고,상기 밸브부는상기 제1, 제2 및 제3 가스 공급부와 상기 플라즈마 발생기 사이에 구비된 제1 밸브, 제2 밸브 및 제3 밸브를 포함하고,상기 전원부는 10KHz 내지 40MHz의 주파수를 가지는 교류 전원을 공급하고,상기 전원부에서 공급되는 교류 전원의 주파수가 1MHz 이상일 경우 상기 전원부와 상기 두 전극 사이에 임피던스 매칭을 위한 임피던스 정합부를 더 포함하며,상기 설치된 태양전지의 샤시부 중 지면에 대하여 높이 설치된 제1 샤시에 상기 거치부가 거치되며, 상기 거치부에 상기 제1 샤시의 바깥쪽면을 따라 이동하도록 제1 롤러가 형성되되,상기 거치부는, ‘ㄱ’형태로 절곡되는 박스로 형성되며, 상기 제1 샤시의 바깥쪽면에 대향하는 절곡면의 일측에 사각형의 내재홀을 형성하여 상기 제1 롤러를 롤링 부분만 돌출되도록 내재하고,상기 플라즈마 발생기는, 상기 거치부 반대측에는 상기 설치된 태양전지의 샤시부 중 지면에 대하여 낮게 설치된 제2 샤시에 따라 이동하도록 제2 롤러가 형성되고,상기 플라즈마 발생기는, 하부에 분사구가 형성되어 태양전지 측으로 폴리머를 공급하며, 바닥면을 제외한 모든 면이 모두 폐쇄되도록 형성되어 내부의 구성들을 안전하게 보호하고, 상기 제1 샤시부터 제2 샤시까지의 폭 면적에 상응하는 길이만큼 형성되어 상하 이동 없이 좌우 이동만으로 상기 태양전지의 보호기판 상면 전체에 상기 폴리머 코팅층을 형성하는 것을 특징으로 하는 태양전지 보호 기판 코팅용 플라즈마 표면처리 장치
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