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온도측정 웨이퍼 센서의 신뢰성 검사장치(Checking apparatus for reliability of temperature measuring wafer sensor)

  • 기술번호 : KST2017018203
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치(100)는, 항온액(140)이 채워지는 외통 배스(110); 항온액(140)에 의해 중탕 방식으로 가열되도록 외통배스(110) 내에 설치되며 저면 상에 온도측정 웨이퍼 센서(1)가 탑재되는 내통 배스(120); 항온액(140)을 가열하도록 설치되는 항온액 가열수단(160); 항온액(140)을 교반하도록 설치되는 교반기(170); 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 온도를 측정하도록 설치되는 웨이퍼 온도측정수단(190); 및 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 각 부분별 온도차를 측정하도록 설치되는 검수부(101); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 중탕 항온액을 통하여 온도측정 웨이퍼 센서(1)를 균일하게 가열한 상태에서 온도측정 웨이퍼 센서(1)의 각 부분별 온도가 측정되므로 온도측정 웨이퍼 센서 자체의 이상 유무를 검사할 수 있다.
Int. CL H01L 21/66 (2016.07.30) H01L 21/67 (2016.07.30)
CPC H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01) H01L 22/12(2013.01)
출원번호/일자 1020160070335 (2016.06.07)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2017-0138617 (2017.12.18) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.07)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 대전광역시 유성구
2 강상우 대한민국 대전광역시 유성구
3 김용규 대한민국 대전광역시 서구
4 권수용 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길* (역삼동, 조이타워), ***호(대신특허사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.06.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0545063-04
2 보정요구서
Request for Amendment
2016.06.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0090960-87
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2016.06.28 수리 (Accepted) 1-1-2016-0622497-34
4 보정요구서
Request for Amendment
2016.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0100022-66
5 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2016.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-0635873-03
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2016.12.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2017-0005092-95
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2017.07.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0533070-79
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2017.09.06 수리 (Accepted) 1-1-2017-0864722-67
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2017.09.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2017-0864721-11
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.02.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0121889-82
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
항온액이 채워지는 외통 배스(outer bath);상기 항온액에 의해 중탕 방식으로 가열되도록 상기 외통배스 내에 설치되며 저면 상에 온도측정 웨이퍼 센서가 탑재되는 내통 배스(inner bath);상기 항온액을 가열하도록 설치되는 항온액 가열수단;상기 온도측정 웨이퍼 센서의 온도를 측정하도록 설치되는 웨이퍼 온도측정수단; 및상기 온도측정 웨이퍼 센서의 각 부분별 온도차를 측정하도록 설치되는 검수부; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 내통 배스의 저면이 그래파이트(graphite)로 코팅되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 항온액을 교반하도록 교반기가 설치되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 외통 배스와 내통 배스 사이의 틈이 가려지도록 상기 외통 배스와 내통 배스 사이에 덮개부가 설치되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 온도측정수단으로부터 얻어지는 온도를 피드백 받아 상기 항온액 가열수단을 가동시킴으로써 상기 온도측정 웨이퍼 센서의 온도를 제어하도록 컨트롤부가 설치되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 웨이퍼 온도측정수단이 상기 내통 배스의 저면에 용접 설치되는 고정 안내관에 삽입 설치되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치
7 7
제1항에 있어서, 상기 온도측정 웨이퍼 센서는, 복수개의 단위저항이 연결배선에 의해 직렬연결되어 이루어지는 저항부;복수개의 전극배선으로 이루어지되 각 전극배선의 일단이 상기 단위저항의 양단에 전기적으로 연결되는 전극부; 및상기 전극배선들의 타단이 취합되는 온도측정 단자부; 를 포함하여 이루어지고, 상기 검수부는 상기 온도측정 단자부에 전기적으로 연결되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 온도측정 웨이퍼 센서 신뢰성 검사장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국표준과학연구원 국가연구개발사 (장비)3-3-2차세대초박막공정용측정기술개발