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서로 이격되어 배치되어 간극을 형성하고 있는 한 쌍의 무기 전극을 포함하며, 스파크 방전에 의해 상기 무기 전극 사이의 간극으로부터 무기 입자를 발생시키는 방전부;상기 무기 전극에 교류 전원을 인가하는 교류 전원부; 및상기 방전부와 전원부 사이에 연결되어 있으며, 상기 교류 전원의 주파수를 20 kHz 이상으로 제어하고, 전압을 2
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제 1 항에 있어서, 전원부는 무기 전극에 교류 전원을 펄스 신호로 인가하며, 제어부는 상기 펄스의 폭을 2
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제 1 항에 있어서, 무기 입자는 알루미늄, 안티몬, 주석, 비스무스, 탄소나노튜브, 세륨, 구리, 코발트, 풀러렌, POSS(Polyhedral Oligomeric Silsesquioxane), 그래핀, 철, 마그네슘, 망간, 금, 은, 니켈, 규소, 티타늄, 이트륨, 아연, 지르코늄 및 이들의 산화물로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 나노 입자 제조장치
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삭제
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제 1 항에 있어서, 무기 전극 사이에서 발생된 무기 입자에 자외선을 조사하는 광 조사부를 추가로 포함하는 나노 입자 제조장치
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제 1 항에 있어서, 무기 전극 사이에서 발생된 무기 입자를 포집하는 포집부를 추가로 포함하는 나노 입자 제조장치
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주파수가 20 kHz 이상이며, 전압이 2
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제 7 항에 있어서, 교류 전원을 펄스 신호로 인가하며, 상기 펄스의 폭을 2
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제 7 항에 있어서, 무기 전극 사이에서 발생된 무기 나노 입자에 자외선을 조사하는 광 조사 단계를 추가로 포함하는 나노 입자의 제조방법
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제 7 항에 있어서, 무기 전극 사이에서 발생된 무기 나노 입자를 포집하는 포집 단계를 추가로 포함하는 나노 입자의 제조방법
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