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진공을 가하여 인쇄회로 기판을 고정시키는 진공 홀; 및 상기 인쇄회로 기판을 가열 또는 냉각시키는 열 플레이트를 포함하는 진공-가열 플레이트;상기 진공-가열 플레이트의 상부에 위치하고 광을 조사하여 상기 인쇄회로 기판을 광 소결시키는 광 출력부; 및상기 진공-가열 플레이트의 일 측에 위치하고, 상기 인쇄회로 기판을 일 방향으로 이송시키는 기판 이송부를 포함하고,상기 광 출력부는 서로 마주보는 측면에 설치된 상부 가이드 레일을 포함하고, 상기 진공-가열 플레이트는 서로 마주보는 측면에 설치된 하부 가이드 레일을 포함하고, 상기 가이드 레일들은 상기 광 출력부가 하방 이동할 때 상기 인쇄회로 기판을 사이에 두고 서로 마주보도록 배열되는 것인, 광 소결 장치
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제1항에 있어서, 상기 광 출력부는 상기 인쇄회로 기판의 상부에서 상하 운동이 가능하도록 하는 수직 이동부와 연결되어 있으며, 상기 광 출력부는 광 소결 시, 상기 인쇄회로 기판 방향으로 하방 이동하는 것을 특징으로 하는 광 소결 장치
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제1항에 있어서,상기 광 출력부는 서로 마주보는 두 쌍의 측면에 설치된 상부 가이드 레일을 포함하고, 상기 진공-가열 플레이트는 서로 마주보는 두 쌍의 측면에 설치된 하부 가이드 레일을 포함하고, 상기 가이드 레일들은 상기 광 출력부가 하방 이동할 때 상기 인쇄회로 기판을 사이에 두고 서로 마주보도록 배열되는 것인 광 소결 장치
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제4항에 있어서,상기 가이드 레일들은 회전이 가능하되, 상기 광 출력부가 하방 이동할 때 상기 상부 가이드 레일 및 하부 가이드 레일은 각각 상기 진공-가열 플레이트의 중심부에서 외부 방향으로 회전함으로써, 상기 인쇄회로 기판이 펼쳐지도록 하는 광 소결 장치
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제1항에 있어서,상기 광 출력부는 극단파 백색광 출력부, 상기 극단파 백색광 출력부의 일 측에 위치하는 원자외선 출력부를 포함하고, 상기 극단파 백색광 및 상기 원자외선을 동시 또는 순차 조사하는 것인 광 소결 장치
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제6항에 있어서,상기 극단파 백색광 출력부는, 적어도 하나의 극단파 백색광 램프; 상기 램프의 상부에 배치되어 광을 반사시키는 반사경;상기 램프의 하부에 배치되어 광 경로를 조정하는 빔 가이드; 및상기 빔 가이드 내부에 배치되어, 빛의 파장대역을 조절하는 광 파장 필터를 포함하는 광 소결 장치
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제7항에 있어서, 상기 광 파장 필터는 광의 파장을 300nm 내지 700nm로 조절하되,상기 광 파장 필터와 상기 원자외선 출력부를 동시에 적용하여 광 소결을 수행하는 것인 광 소결 장치
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제7항에 있어서,상기 극단파 백색광 램프는, 본 조사 램프 및 예비 광조사 램프를 구비하고, 상기 예비 광조사 램프는 상기 본 조사 램프보다 광이 먼저 조사되고, 상기 본 조사 램프에서 조사되는 광보다 낮은 세기의 광을 조사하는 것인 광 소결 장치
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제1항에 있어서,상기 진공 홀은 상기 진공-가열 플레이트의 내부에 복수개가 서로 이격 배치되고, 상기 인쇄회로 기판의 하부에 진공을 가하고, 상기 홀의 직경은 100μm 내지 1mm이며, 상기 홀의 간격은 1cm 내지 5cm인 광 소결 장치
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제10항에 있어서,상기 진공의 세기는 0
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제1항에 있어서,상기 진공-가열 플레이트에 의하여 상기 인쇄회로 기판의 온도는 -50℃ 내지 300℃로 조절되는 것인 광 소결 장치
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제12항에 있어서,상기 진공-가열 플레이트의 가열판에 의하여 기판의 온도는 100℃ 내지 300℃로 조절되는 것인 광 소결 장치
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제1항에 있어서,상기 기판 이송부는 상기 진공-가열 플레이트의 양측에 위치하여 상기 인쇄회로 기판을 일 방향으로 이동시키는 롤 형태이거나, 상기 인쇄회로 기판의 하부에 위치하고 자체 회전하는 컨베이어 벨트 형태인 광 소결 장치
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제1항에 있어서,상기 인쇄회로 기판은 전도성 금속 잉크 또는 전도성 금속 페이스트 패턴을 구비하는 것인 광 소결 장치
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제1항에 있어서,상기 인쇄회로 기판은 다층의 회로 패턴과 비아-홀을 포함하는 것인 광 소결 장치
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제16항에 있어서, 상기 다층의 회로 패턴과 비아-홀을 포함하는 상기 인쇄회로 기판의 광 소결을 수행할 시에는, 상기 회로 패턴보다 상기 비아-홀에 광을 먼저 통과시키는 마스킹 장치를 더 포함하는 것인 광 소결 장치
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