| 1 |
1
적층 반도체 회로의 시분할 테스트 장치에 있어서,복수의 층들에 각각 구비되어, ATE(auto test equipment)로부터 수신되는 테스트 클록을 시분할 방식(time division multiplex; TDM)을 이용하여 상기 복수의 층들로 분할하는 복수의 TDM 클록 디바이더들; 및 상기 복수의 층들의 테스트 데이터 경로를 설정하는 적어도 하나의 TAP(test access port) 컨트롤러를 포함하고, 상기 시분할 테스트 장치는 상기 테스트 데이터 경로를 통하여 상기 ATE로부터 수신되는 테스트 데이터를 기초로, 상기 분할된 테스트 클록에 따라 상기 복수의 층들 각각에서 적층 테스트 대상 반도체에 대한 테스트를 수행하는, 시분할 테스트 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 적어도 하나의 TAP 컨트롤러는 상기 복수의 층들의 테스트 데이터 경로를 병렬로 설정하고, 상기 시분할 테스트 장치는 상기 병렬로 설정되는 테스트 데이터 경로를 통하여 상기 복수의 층들 각각으로 동시에 수신되는 상기 테스트 데이터를 기초로, 상기 분할된 테스트 클록에 따라 상기 복수의 층들 각각에서 상기 적층 테스트 대상 반도체에 대한 테스트를 수행하는, 시분할 테스트 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 적어도 하나의 TAP 컨트롤러는 상기 복수의 층들의 테스트 데이터 경로를 설정하기 위하여, 상기 복수의 층들 각각에 포함되는 적어도 하나의 멀티플렉서의 셀렉트 신호값을 제어하는, 시분할 테스트 장치
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 복수의 TDM 클록 디바이더들 각각은 상기 복수의 층들에서 각각 요구되는 클록 속도에 기초하여 상기 테스트 클록을 상기 복수의 층들로 분할하는, 시분할 테스트 장치
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 복수의 TDM 클록 디바이더들 각각은 상기 테스트 클록의 속도 및 상기 복수의 층들의 개수에 기초하여 상기 테스트 클록을 상기 복수의 층들로 분할하는, 시분할 테스트 장치
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 복수의 TDM 클록 디바이더들 각각은 상기 테스트 클록의 하나의 순환 주기를 상기 복수의 층들 각각으로 분배하는, 시분할 테스트 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 복수의 TDM 클록 디바이더들 각각은 상기 복수의 층들의 개수에 기초하여 구성되는 카운터 논리회로를 포함하는 시분할 테스트 장치
|
| 8 |
8
적층 반도체 회로의 시분할 테스트 방법에 있어서,복수의 층들에 각각 구비되는 복수의 TDM 클록 디바이더들에서, ATE(auto test equipment)로부터 수신되는 테스트 클록을 시분할 방식(time division multiplex; TDM)을 이용하여 상기 복수의 층들로 분할하는 단계; 적어도 하나의 TAP(test access port) 컨트롤러에서, 상기 복수의 층들의 테스트 데이터 경로를 설정하는 단계; 및 상기 복수의 층들 각각에서, 상기 테스트 데이터 경로를 통하여 상기 ATE로부터 수신되는 테스트 데이터를 기초로, 상기 분할된 테스트 클록에 따라 적층 테스트 대상 반도체에 대한 테스트를 수행하는 단계를 포함하는 시분할 테스트 방법
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 복수의 층들의 테스트 데이터 경로를 설정하는 단계는 상기 복수의 층들의 테스트 데이터 경로를 병렬로 설정하는 단계를 포함하고, 상기 적층 테스트 대상 반도체에 대한 테스트를 수행하는 단계는 상기 병렬로 설정되는 테스트 데이터 경로를 통하여 상기 복수의 층들 각각으로 동시에 수신되는 상기 테스트 데이터를 기초로, 상기 분할된 테스트 클록에 따라 상기 적층 테스트 대상 반도체에 대한 테스트를 수행하는 단계를 포함하는 시분할 테스트 방법
|
| 10 |
10
제8항에 있어서,상기 복수의 층들의 테스트 데이터 경로를 설정하는 단계는 상기 복수의 층들의 테스트 데이터 경로를 설정하기 위하여, 상기 복수의 층들 각각에 포함되는 적어도 하나의 멀티플렉서의 셀렉트 신호값을 제어하는 단계를 포함하는 시분할 테스트 방법
|
| 11 |
11
제8항에 있어서,상기 ATE로부터 수신되는 테스트 클록을 시분할 방식을 이용하여 상기 복수의 층들로 분할하는 단계는 상기 복수의 층들에서 각각 요구되는 클록 속도에 기초하여 상기 테스트 클록을 상기 복수의 층들로 분할하는 단계를 포함하는 시분할 테스트 방법
|
| 12 |
12
제8항에 있어서,상기 ATE로부터 수신되는 테스트 클록을 시분할 방식을 이용하여 상기 복수의 층들로 분할하는 단계는 상기 테스트 클록의 속도 및 상기 복수의 층들의 개수에 기초하여 상기 테스트 클록을 상기 복수의 층들로 분할하는 단계를 포함하는 시분할 테스트 방법
|
| 13 |
13
제8항에 있어서,상기 복수의 층들의 개수에 기초하여 상기 복수의 TDM 클록 디바이더들 각각을 카운터 논리회로로 구성하는 단계를 더 포함하는 시분할 테스트 방법
|
| 14 |
14
삭제
|
| 15 |
15
삭제
|
