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그래핀 층, 및 상기 그래핀 층 위에 형성된 탄소 나노튜브 층, 및 상기 탄소 나노튜브 층에 결합된 항체를 포함하고, 링커 분자를 포함하지 않는, 단백질 검출용 소자
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(i) 구리 호일 위에 그래핀 층을 형성하는 단계;(ii) 상기 그래핀 층을 기판 위에 전사하는 단계;(iii) 상기 전사된 그래핀 층 위에 탄소 나노튜브를 증착하는 단계; 및(iv) 플라즈몬 용접 방법을 통해 상기 증착된 탄소 나노튜브를 상기 그래핀 층에 용접하는 단계를 포함하는, 단백질 검출용 소자 제조 방법
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소스 전극, 게이트 전극 및 드레인 전극이 형성된 기판; 상기 기판 위에 형성된 그래핀 층; 상기 그래핀 층 위에 형성된 탄소 나노튜브 층; 상기 탄소 나노튜브 층 위에 공간을 형성하면서 출구와 입구를 가지는 상부 덮개를 포함하고, 상기 탄소 나노튜브 층에 항체가 결합되어 있으며, 상기 탄소 나노튜브 층과 상기 항체를 결합하기 위한 링커를 사용하지 않는 것인, 단백질 검출용 바이오센서
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제3항에 있어서, 상기 기판은 유리 기판, 상기 유리 기판 위에 형성된 게이트 전극, 상기 유리 기판과 게이트 전극을 피복한 금속산화물 층 및 상기 금속산화물 층 위에 형성된 소스 전극과 드레인 전극으로 이루어진 것을 특징으로 하는 단백질 검출용 바이오센서
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제3항에 있어서, 상기 상부 덮개는 유리 또는 폴리디메틸실록산인 것을 특징으로 하는 단백질 검출용 바이오센서
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(i) 유리 기판, 상기 유리 기판 위에 형성된 게이트 전극, 상기 유리 기판과 게이트 전극을 피복한 금속산화물 층 및 상기 금속산화물 층 위에 형성된 소스 전극과 드레인 전극으로 이루어진 기판을 준비하는 단계;(ii) 상기 기판 위에 그래핀 층을 형성하는 단계;(iii) 상기 그래핀 층 위에 탄소 나노튜브 층을 형성하는 단계;(iv) 플라즈몬 용접 방법을 통해 상기 그래핀 층과 상기 탄소 나노튜브 층을 결합시키는 단계;(v) 상기 탄소 나노튜브 층 위에 항체를 결합하는 단계;(vi) 상기 탄소 나노튜브 층 위에 공간을 형성하면서 출구와 입구를 가지는 상부 덮개를 부착하는 단계; 및(vii) 상기 탄소 나노튜브 층에 항체를 결합하는 단계를 포함하는, 단백질 검출용 바이오센서 제조 방법
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제6항에 있어서, 상기 상부 덮개는 유리 또는 폴리디메틸실록산인 것을 특징으로 하는 단백질 검출용 바이오센서 제조 방법
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