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평패널의 표면에 진공 흡착되어 평패널을 운반하는 데 사용하는 진공 흡착 장치로서,파지 가능한 외측 표면을 갖고 길이 방향으로 연장되는 중공의 프레임(10);각각 하단에는 공기 통로(25)가 형성되고 공기 통로로부터 상단까지 길이 방향으로 수용홈(21)이 형성되며, 프레임(10)의 길이 방향으로 서로 이격되어 프레임(10)의 길이 방향에 수직한 방향으로 서로 평행하게 배치되며, 각각 상단에서 프레임(10)을 관통하여 결합되는 2개의 안내 부재(20);각각 평판형 물체의 표면과의 사이에 진공 흡착 가능한 표면을 갖추고, 각 안내 부재의 공기 통로(25)와 진공 흡착 가능한 표면 사이를 연통하는 공기 통로(47)가 형성되는 2개의 흡착 패드(40);그 일부가 각각의 안내 부재의 수용홈(21)에 안내 부재(20)의 길이 방향으로 이동 가능하게 수용되고 그 상부는 프레임(10)의 내부 공간으로 돌출되며, 그 하단에는 안내 부재의 공기 통로(25)를 폐쇄하는 폐쇄 부재(36)가 마련되는 것인 2개의 피스톤(30);프레임(10)의 내부 공간에서 프레임의 길이 방향을 따라 연장되고 각 피스톤(30)의 상부가 결합되는 바아(50);바아(50)에 결합되고 일 단부가 프레임(10)의 외부 표면으로부터 돌출되며 외부로부터의 조작력에 의해 피스톤(30)의 이동 방향에 평행한 방향으로 이동 가능한 진공 해제 버튼(51); 및프레임(10)의 내측 표면과 바아 또는 각 피스톤(30) 사이에 배치되어 피스톤의 폐쇄 부재(36)가 안내 부재의 공기 통로를 폐쇄하는 방향으로 바아(50) 또는 각 피스톤(30)을 압박하는 탄성 부재(34)를 포함하고,각 피스톤(30)의 상부에는 관통공(31)이 형성되고 바아(50)가 이 관통공(31)에 삽입됨으로써 피스톤(30)과 바아(50)가 서로 결합되고,안내 부재의 수용홈(21) 및 피스톤(30)의 외측 표면은 서로 미끄럼 운동하는 원통형으로 형성되고, 원통형의 피스톤(30) 외측 표면에 길이 방향을 따라 그 하단으로부터 상단까지 편평면(33)으로 형성되는 공기 유입 통로(39)가 마련되는 것인 진공 흡착 장치
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청구항 1에 있어서, 진공 해제 버튼(51)에는 관통공(52)이 형성되고, 바아(50)가 이 관통공(52)에 삽입됨으로써 진공 해제 버튼(51)과 바아(50)가 서로 결합되는 것인 진공 흡착 장치
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청구항 3에 있어서,진공 해제 버튼(51)의 일 단부로부터 그 관통공(52)으로 연장되어 결합되는 나사(53)가 마련되고, 이 나사의 단부가 바아(50)의 표면에 압박됨으로써 바아가 프레임(10)의 길이 방향에 대해 위치가 고정되는 것인 진공 흡착 장치
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청구항 1에 있어서,탄성 부재는 각 피스톤(30)의 상단과 프레임(10)의 내측 표면에 배치되는 압축 코일 스프링(34)인 것인 진공 흡착 장치
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청구항 5에 있어서,피스톤(30)의 상단에는 직경의 차이에 따른 단차부(32)가 형성되고 이 단차부와 마주하는 프레임(10)의 내측 표면에는 편평면(13)이 형성되어, 압축 코일 스프링(34)은 단차부(32)와 편평면(13) 사이에 배치되는 것인 진공 흡착 장치
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청구항 1에 있어서,진공 해제 버튼(51)은 프레임(10)에서 안내 부재(20)가 부착되는 방향으로 돌출되는 것인 진공 흡착 장치
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청구항 1에 있어서, 각각의 흡착 패드(40)는 안내 부재(20)에 결합되고 중심에 배치되는 금속제의 코어(45) 및 이 코어의 둘레에 부착되는 고무 또는 합성 수지제의 흡착판(41)으로 이루어지는 것인 진공 흡착 장치
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청구항 8에 있어서,코어(45)의 둘레에는 결합홈(46)이 형성되고, 흡착판(41)의 내측 둘레에는 코어의 결합홈(46)에 삽입되는 돌출부(43)가 형성되어, 이 결합홈(46)에 돌출부(43)가 삽입됨으로써 흡착판(41)과 코어(45)가 서로 결합되는 것인 진공 흡착 장치
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