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도전층 패턴 형성방법으로서,기판 상에 나노파티클을 포함하는 용액을 잉크젯 프린팅하여 프린팅층을 형성하는 프린팅층형성단계; 상기 프린팅층 중 일부에 레이저에 의한 환원성 소결을 수행하여 레이저소결층을 형성하는, 레이저소결층형성단계; 및상기 프린팅층 중 상기 레이저에 의한 환원성 소결이 수행되지 않은 나머지를 포함하는 영역에 열에 의한 소결을 수행하여 추가열소결층을 형성하는 추가열소결층형성단계를 포함하는, 도전층 패턴 형성방법
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청구항 1에 있어서,상기 나노파티클은 산화니켈 나노파티클을 포함하고,상기 레이저소결층은 니켈층을 포함하고,상기 추가열소결층은 산화니켈층을 포함하는, 도전층 패턴 형성방법
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청구항 2에 있어서,상기 추가열소결층형성단계는 100도 이상 500도 이하의 온도에서 수행되는, 도전층 패턴 형성방법
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청구항 2에 있어서,상기 나노파티클을 포함하는 용액의 용매는 무극성용매를 포함하는, 도전층 패턴 형성방법
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청구항 4에 있어서,상기 용매는 테트라데칸을 포함하는, 도전층 패턴 형성방법
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청구항 2에 있어서,상기 프린팅층형성단계 이전에, 상기 기판에 대하여 플루오르카본 코팅 혹은 자외선-오존 처리 혹은 플루오르카본 코팅과 자외선-오존 처리를 수행하는, 도전층 패턴 형성방법
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청구항 2에 있어서,상기 프린팅층형성단계와 상기 레이저소결층형성단계 사이에,상기 기판을 건조하는 기판건조단계를 포함하는, 도전층 패턴 형성방법
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청구항 9에 있어서,상기 기판건조단계 후 상기 레이저소결층형성단계에서의 상기 프린팅층은 상기 용액의 용매를 일부 포함하는, 도전층 패턴 형성방법
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청구항 2에 있어서,상기 레이저소결층형성단계에서 조사되는 레이저의 레이저 파워밀도는 67 kW/cm2 내지 220 kW/cm2 인, 도전층 패턴 형성방법
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