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정전척에 사용되는 소재에 있어서, 알루미나(Al2O3) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 물질과 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 물질이 복합화된 소결체이고, 상기 소결체에서 상기 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 물질과 상기 알루미나(Al2O3) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 물질은 1:90∼100의 부피비를 이루는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체
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제1항에 있어서, 상기 소결체에 Y2O3가 더 복합되어 있고,상기 Y2O3는 상기 소결체에 0
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제1항에 있어서, 상기 소결체에 MgO가 더 복합되어 있고,상기 MgO는 상기 소결체에 0
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제1항에 있어서, 상기 소결체에 SiC가 더 복합되어 있고,상기 SiC는 상기 소결체에 0
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정전척에 사용되는 소재의 제조방법에 있어서, (a) 알루미나(Al2O3) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 분말과 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 분말을 혼합하여 출발원료를 준비하는 단계;(b) 혼합된 출발원료를 성형하는 단계; 및(c) 성형된 결과물을 소결하여 소결체를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 그라파이트 및 그래핀 중에서 선택된 1종 이상의 분말과 상기 알루미나(Al2O3) 및 질화알루미늄(AlN) 중에서 선택된 1종 이상의 분말은 1:90∼100의 부피비로 혼합하는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 Y2O3 분말을 더 혼합하며,상기 Y2O3 분말은 상기 출발원료에 0
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제5항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 MgO 분말을 더 혼합하며,상기 MgO 분말은 상기 출발원료에 0
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8
제5항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 SiC 분말을 더 혼합하며,상기 SiC 분말은 상기 출발원료에 0
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9
제5항에 있어서, 상기 (a) 단계에서 폴리비닐알코올(polyvinyl alcohol)과 폴리카르복시레이트 암모늄(polycarboxylate ammonium)를 더 혼합하는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 성형하는 단계는,상기 혼합된 출발원료를 몰드에 장입하고 일축가압하여 1차 성형하는 단계; 및1차 성형된 결과물을 냉간 정수압 성형하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 소결은 핫프레스 소결을 포함하고, 상기 핫프레스 소결은 비활성 가스를 흘려주면서 1450∼1850℃의 온도에서 1∼80MPa의 압력을 가하면서 수행하는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 소결은 진공로(vacuum furnace)에서 비활성 가스를 흘려주면서 1450∼1850℃의 온도에서 수행하는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체의 제조방법
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제5항에 있어서, 상기 소결은 수소와 비활성 가스를 포함하는 환원 가스 분위기에서 1450∼1850℃에서 수행하는 것을 특징으로 하는 정전척용 세라믹 소결체의 제조방법
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