| 1 |
1
전도성 성장기판 상에서 그래핀을 성장시키는 그래핀층성장단계;상기 그래핀층 상에 원자층 증착공정을 수행하여 원자층을 형성하는 단계;상기 원자층 상에 투명전도성층을 형성하는 투명전도성층 형성단계; 상기 전도성 성장기판의 일부를 제거하여 버스전극을 형성하는 단계; 및 상기 버스전극을 연성기판에 부착하는 단계;를 포함하는 투명기판 기반 전자소자용 전극제조방법
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 원자층을 형성하는 단계는, 상기 그래핀층 상에 존재하는 결함영역에 원자들을 배열하여 수행되는 것인 투명기판 기반 전자소자용 전극제조방법
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 전도성 성장기판은 Ni, Co, Fe, Pt, Au, Al, Cr, Cu, Mg, Mn, Mo, Rh, Si, Ta, Ti, W, U, V, Zr, 황동, 청동, 백동, 스테인리스 스틸 및 Ge로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나 이상의 금속 또는 이들의 합금을 포함하는 것인 투명기판 기반 전자소자용 전극제조방법
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 버스전극을 형성하는 단계는,상기 그래핀층이 노출되도록 전도성 성장기판의 일부를 제거하여 수행되는 것인 투명기판 기반 전자소자용 전극제조방법
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서, 상기 버스전극을 형성하는 단계는, 상기 전도성 성장기판 상에 마스크를 위치시키는 단계; 및상기 전도성 성장기판을 에칭하는 단계;를 포함하는 것인 투명기판 기반 전자소자용 전극제조방법
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서, 상기 연성기판은 폴리메틸메타크릴레이트(poly(methyl methacrylate), PMMA), 폴리에틸렌테레프탈레이트(polyethyleneterephthalate, PET), 폴리에틸렌나프탈레이트(polyethylenenaphthalate, PEN), 폴리카보네이트(polycarbonate, PC) 및 폴리이미드(polyimide, PI) 중 어느 하나를 포함하는 것인 투명기판 기반 전자소자용 전극제조방법
|
| 7 |
7
전도성 성장기판 상에서 그래핀을 성장시키는 그래핀성장단계;상기 그래핀층 상에 원자층 증착공정을 수행하여 원자층을 형성하는 단계;상기 원자층 상에 투명전도성층을 형성하는 제1투명전도성층 형성단계; 상기 제1투명전도성층 상에 전기변색층, 전해질층 및 이온저장층을 포함하는 전기변색부를 형성하는 단계;상기 전기변색부 중 최외곽층에 투명전도성층을 형성하는 제2투명전도성층 형성단계;상기 전도성 성장기판의 일부를 제거하여 버스전극을 형성하는 단계; 및 상기 버스전극을 연성기판에 부착하는 단계;를 포함하는 전기변색소자 제조방법
|
| 8 |
8
연성기판;상기 연성기판 상에 형성된 버스전극;상기 전기적 연결부 상에 형성된 그래핀층;상기 그래핀층 상에 형성된 원자층; 및상기 원자층 상에 형성된 투명전도성층;을 포함하는 투명기판 기반 전자소자용 전극
|
