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전자 장치의 제조 방법(METHOD OF MANUFACTURING ELECTRONIC APPARATUS)

  • 기술번호 : KST2018000097
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 전자 장치의 제조 방법은 제1 영계수(Young's Modulus)를 갖는 기판을 마련하는 단계, 기판 상에 제1 영계수보다 큰 제2 영계수를 갖는 박막을 형성하는 단계, 박막 상에 전자 소자를 형성하는 단계, 및 박막 상에 전자 소자를 덮는 캡핑막을 형성하는 단계를 포함한다.
Int. CL H01L 51/05 (2016.08.11) H01L 51/00 (2016.08.11)
CPC H01L 51/05(2013.01) H01L 51/05(2013.01) H01L 51/05(2013.01) H01L 51/05(2013.01)
출원번호/일자 1020160086286 (2016.07.07)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0006544 (2018.01.18) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 오지영 대한민국 대전시 유성구
2 김주연 대한민국 대전시 중구
3 구재본 대한민국 대전광역시 서구
4 나복순 대한민국 대전광역시 중구
5 박래만 대한민국 대전광역시 유성구
6 박찬우 대한민국 대전광역시 유성구
7 이상석 대한민국 세종시 나리*로**(
8 정순원 대한민국 대전 유성구
9 황치선 대한민국 대전광역시 유성구
10 이근수 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0659412-20
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2017-0460139-94
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번호 청구항
1 1
제1 영계수(Young's Modulus)를 갖는 기판을 마련하는 단계;상기 기판 상에 상기 제1 영계수보다 큰 제2 영계수를 갖는 박막을 형성하는 단계;상기 박막 상에 전자 소자를 형성하는 단계; 및상기 박막 상에 상기 전자 소자를 덮는 캡핑막을 형성하는 단계를 포함하는 전자 장치의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 영계수는 0
3 3
제1항에 있어서,상기 제2 영계수는 0
4 4
제1항에 있어서,상기 기판은 PDMS(polydimethylsiloxane), ecoflex 및 polyurethane으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나와 경화제를 혼합하여 경화하여 형성되는 전자 장치의 제조 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 박막은 parylene, PVC(poly(vinyl chloride), 및 PMMA(poly(methyl methacrylate)으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나를 상기 기판 상에 도포한 후 경화하여 형성되는 전자 장치의 제조 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 캡핑막은 PDMS, ecoflex 및 polyurethane으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 하나를 포함하는 전자 장치의 제조 방법
7 7
제1항에 있어서,상기 기판은 0
8 8
제1항에 있어서,상기 박막은 10nm 내지 20㎛ 사이의 두께를 갖는 전자 장치의 제조 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 박막이 형성되는 동안, 상기 박막 및 상기 기판 사이의 영계수 차이로 인하여, 상기 박막에 주름이 형성되는 전자 장치의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US20180012861 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US2018012861 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국전자통신연구원 ETRI연구개발지원사업 미래광고 서비스를 위한 에너지절감형 환경적응 I/O 플랫폼 기술 개발