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투명하고 유연한 광 센서(Transparent and flexible photo sensor)

  • 기술번호 : KST2018000435
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 투명하고 유연성을 갖는 광 센서에 관한 것으로서, 좀더 상세하게는 외부로 전기적인 신호를 제공하는 복수의 전극을 투명하고 유연한 재질로 형성하는 한편 광 흡수 물질이 코팅된 탄소 나노튜브를 전극 사이에 채운 투명하고 유연한 광 센서에 관한 것이다.본 발명의 일 실시예에 따르면, 광 센서를 구성하는 모든 물질이 투명하므로 미관에 문제없이 다양한 용처에 사용될 수 있으며, 광 센서를 구성하는 모든 물질이 유연하며, 전기적 연결을 하는 분산된 탄소 나노튜브와 그래핀 두 물질이 모두 물리적 변형에 의한 전기전도도 변화가 매우 작으므로, 광 센서가 변형된 상태에서도 성능 저하 없이 광 측정이 가능하다.
Int. CL G01J 1/42 (2016.08.12) H01L 21/02 (2016.08.12) H01L 51/44 (2016.08.12)
CPC G01J 1/42(2013.01) G01J 1/42(2013.01) G01J 1/42(2013.01)
출원번호/일자 1020160087476 (2016.07.11)
출원인 연세대학교 산학협력단, 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0006722 (2018.01.19) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.07.11)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 서대문구
2 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종백 대한민국 경기도 고양시 일산동구
2 표순재 대한민국 서울특별시 서대문구
3 김원도 대한민국 서울특별시 구로구
4 정한일 대한민국 경기도 고양시 일산동구
5 최정욱 대한민국 경상북도 경산시 삼풍로 **-*

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤병국 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)
2 이영규 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***길, **, *층 (대치동, 삼호빌딩)(지성국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 연세대학교 산학협력단 서울특별시 서대문구
2 영남대학교 산학협력단 경상북도 경산시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.07.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0668095-50
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2017.05.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2017.07.11 수리 (Accepted) 9-1-2017-0021810-46
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.03 수리 (Accepted) 4-1-2017-5175631-14
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.04.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0267850-92
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.06.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0595129-04
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2018-0595130-40
8 등록결정서
Decision to grant
2018.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0715192-99
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.23 수리 (Accepted) 4-1-2019-5220555-67
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
투명하고 유연한 기판 상에 그래핀을 전사하여 그래핀 코팅을 형성하는 그래핀 코팅단계;상기 코팅된 그래핀에 대해 포토리소그래피 공정을 수행하여 상기 기판 상에 상에 제1 그래핀 전극과 제2 그래핀 전극을 형성하는 전극 형성단계;탄소 나노튜브 분산용액을 딥 코팅(Dip-Coating)한 후 포토리소그래피 및 산소 플라즈마 식각 공정을 수행하여 상기 제1 그래핀 전극과 상기 제2 그래핀 전극 사이에 탄소 나노튜브 채널을 형성하는 채널 형성단계; 및상기 탄소 나노튜브 채널의 표면에 증착 공정(Evaporation)을 통하여 광 흡수 물질을 코팅하는 광 흡수 물질 형성단계;를 포함하는 유연성을 갖는 광 센서 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 탄소 나노튜브 채널은, 분산된 상기 탄소 나노튜브가 상기 제1 그래핀 전극과 상기 제2 그래핀 전극 사이를 채우도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유연성을 갖는 광 센서 제조방법
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제2항에 있어서,상기 탄소 나노튜브 채널은 상기 제1 그래핀 전극과 상기 제2 그래핀 전극의 상면 전체를 모두 둘러싸며 형성된 것을 특징으로 하는 유연성을 갖는 광 센서 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 광 흡수 물질은 포피린 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 유연성을 갖는 광 센서 제조방법
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삭제
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 연세대학교 산학협력단 중견연구자지원사업 접촉 기반 MEMS의 장수명 고신뢰성 확보를 위한 나노소재 응용 연구(1/3)(2015.7.1~2018.4.30)