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(a) 310℃ 내지 350℃로 가열된 기판 상에 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE) 막대를 일 방향으로 러빙하여, 상기 기판 상에서 상기 방향으로 연장되는 복수의 PTFE 나노 가이드 선들을 형성하는 단계;(b) 블록 공중합체가 제1 유기 용매에 용해된 블록 공중합체 용액을 상기 PTFE 나노 가이드 선이 형성된 기판 상에 코팅하여, 블록 공중합체 박막을 형성하는 단계;(c) 상기 블록 공중합체 박막이 형성된 기판을 제2 유기 용매의 증기 분위기에서 어닐링하여, 상기 어닐링에 의해 상기 블록 공중합체가 상분리되어 상기 기판 상에서 상기 PTFE 나노 가이드 선을 따라 규칙 배열되는 나노 규칙 패턴 템플릿 구조체를 형성하는 단계;(d) 상기 나노 규칙 패턴 템플릿 구조체가 형성된 기판을 금속 전구체가 용해된 전구체 용액에 미리 설정된 시간 동안 침지하는 단계; 및(e) 상기 전구체 용액에 침지되었던 기판 상에서 잔류 유기물을 식각하여, 상기 전구체에 포함된 금속이 상기 방향을 따라 규칙 배열되는 나노 규칙 패턴 구조체를 형성하는 단계를 포함하는, 연성재질을 이용한 나노 규칙 패턴 구조체의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 블록 공중합체는, 폴리스티렌-블록-폴리(2-비닐 피리딘) 공중합체(PS-b-P2VP), 폴리스티렌-블록-(4비닐 피리딘) 공중합체(PS-b-P4VP), 폴리스티렌-블록-폴리(에틸렌 옥사이드)(PS-b-PEO) 및 폴리스티렌-블록-폴리(메틸 메타크릴레이트) 공중합체(PS-b-PMMA)로 이루어진 군으로부터 선택되는 블록 공중합체를 포함하는, 연성재질을 이용한 나노 규칙 패턴 구조체의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 제1 유기 용매 및 제2 유기 용매는 각각, 톨루엔, 테트라하이드로퓨란(THF), 클로로포름, 벤젠 및 자일렌으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나인, 연성재질을 이용한 나노 규칙 패턴 구조체의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 단계 (c)에서 상기 나노 규칙 패턴 템플릿 구조체는 기둥 형상, 구 형상 및 판 형상 중의 어느 한 형상으로 상기 PTFE 나노 가이드 선을 따라 균일하게 배열되는, 연성재질을 이용한 나노 규칙 패턴 구조체의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 기둥 형상은 상기 기판 상에 수평 또는 수직하게 배치되는, 연성재질을 이용한 나노 규칙 패턴 구조체의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 나노 규칙 템플릿 구조체가 배열되는 형상은, 상기 제2 유기 용매에 따라 달라지는, 연성재질을 이용한 나노 규칙 패턴 구조체의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 단계 (d)에서 상기 금속 전구체는 염화금산, 염화백금산나트륨 또는 질산은을 포함하는, 연성재질을 이용한 나노 규칙 패턴 구조체의 제조방법
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