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세라믹 부재의 재사용을 위한 비정질 하드코팅 조성물 및 이를 이용한 세라믹 부재의 재생방법(Amorphous hard coating composition for recycling ceramic member and regeneration method of ceramic member for recycle using the composition)

  • 기술번호 : KST2018000508
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은, 반도체 또는 디스플레이 제조 공정에서 사용된 세라믹 부재를 재사용하기 위하여 표면에 코팅하여 비정질 하드코팅층을 형성하기 위한 조성물로서, 조성 성분으로 SiO2 20∼70중량%, Al2O3 5∼40중량% 및 Y2O3 5∼60중량%를 포함하는 비정질 유리 분말 55∼80중량%; 유기 바인더 1∼15중량%; 및 용제 12∼40중량%를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 부재의 재사용을 위한 비정질 하드코팅 조성물을 이용한 세라믹 부재의 재생방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 비정질 하드코팅(hard coating)에 의해 반도체 또는 디스플레이 제조 공정에서 사용된 세라믹 부재로부터 발생되는 아웃가싱이 방지될 수 있고 파티클의 발생도 억제할 수 있으며, 표면이 매끄럽고 표면에 기공 등이 없으며 수분 흡착력이 낮고 표면 경도가 높으며 안정적으로 신뢰성 있게 재사용할 수 있는 재생 세라믹 부재를 얻을 수 있다.
Int. CL C09D 1/00 (2006.01.01) H01L 21/56 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01) H01L 21/48 (2006.01.01)
CPC C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01) C09D 1/00(2013.01)
출원번호/일자 1020160081308 (2016.06.29)
출원인 한국세라믹기술원, (주)제니스월드
등록번호/일자 10-1988223-0000 (2019.06.05)
공개번호/일자 10-2018-0002177 (2018.01.08) 문서열기
공고번호/일자 (20190930) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2016.06.29)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
2 (주)제니스월드 대한민국 충청북도 진천군

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김형준 대한민국 경기도 고양시 일산동구
2 최재호 대한민국 강원도 강릉시 연당길 **, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 고길수 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, *층 (서초동)(정석국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
2 (주)제니스월드 충청북도 진천군
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.06.29 수리 (Accepted) 1-1-2016-0627393-56
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2017.08.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2017.09.07 수리 (Accepted) 9-1-2017-0030461-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2017.10.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0703216-36
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2017.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-1228745-90
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.01.11 수리 (Accepted) 1-1-2018-0033088-94
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.02.08 수리 (Accepted) 1-1-2018-0137869-41
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2018-0237665-57
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period		 2018.03.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0037344-64
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.04.10 수리 (Accepted) 1-1-2018-0354085-42
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.04.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0354057-74
12 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.08.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0536860-81
13 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.10.05 수리 (Accepted) 1-1-2018-0981609-17
14 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.11.07 수리 (Accepted) 1-1-2018-1104428-92
15 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)		 2018.12.06 수리 (Accepted) 1-1-2018-1221187-49
16 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.01.07 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0014400-92
17 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2019-0014435-89
18 등록결정서
Decision to grant		 2019.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0371572-01
19 [명세서등 보정]보정서(심사관 직권보정)
 2019.08.27 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-5025604-95
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번호 청구항
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5 5
SiO2 분말, Al(OH)3 분말, Y2O3 분말 및 H3BO3 분말을 혼합하여 비정질 유리 원료를 준비하는 단계;상기 비정질 유리 원료를 용융시키는 단계;용융된 비정질 유리 원료를 급속 냉각하는 단계; 급속 냉각하여 얻어진 결과물을 분쇄하여 비정질 유리 분말을 얻는 단계; 조성 성분으로 SiO2 20∼70중량%, Al2O3 5∼40중량%, 및 Y2O3 5∼60중량% 및 B2O3 0
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7 7
제5항에 있어서, 상기 비정질 유리 원료는 CaCO3 분말을 더 포함하고, 상기 비정질 유리 분말은 조성 성분으로 CaO 5∼20중량%를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 부재의 재사용을 위한 세라믹 부재의 재생 방법
8 8
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9 9
제5항에 있어서, 상기 용융은 1300∼1800℃의 온도에서 산화 분위기에서 수행하는 것을 특징으로 하는 세라믹 부재의 재사용을 위한 세라믹 부재의 재생 방법
10 10
제5항에 있어서, 상기 용융 후 급속 냉각하는 단계 전에 용융 온도보다 낮은 700∼1000℃의 온도에서 어닐링하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 부재의 재사용을 위한 세라믹 부재의 재생 방법
11 11
제5항에 있어서, 상기 열처리는 상기 비정질 하드코팅 조성물의 점도가 103∼107
12 12
제5항에 있어서, 상기 세라믹 부재는 알루미나(Al2O3), 지르코니아(ZrO2), 뮬라이트(mullite), SiC 및 Si3N4 중에서 선택된 1종 이상의 세라믹 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 세라믹 부재의 재사용을 위한 세라믹 부재의 재생 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한국세라믹기술원 산학연협력기술개발사업 디스플레이공정용 세라믹부재 재생을 위한 Glass하드코팅 개발