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하기 화학식 1로 표시되는 무연 압전 세라믹스의 제조방법으로서,Bi1/2Na1/2TiO3에 SrTiO3이 첨가되어 고용체를 이루며, SrTiO3 함량이 서로 다른 제1 세라믹 분말 및 제2 세라믹 분말을 각각 합성하는 단계; 상기 제1 세라믹 분말 및 제2 세라믹 분말을 50:50의 몰분율로 혼합하는 단계; 상기 혼합된 세라믹 분말을 압축 성형하여 성형체를 제조하는 단계; 및상기 성형체를 소결하여 판상의 시편을 제조하는 단계;를 포함하는 무연 압전 세라믹스의 제조방법:[화학식 1](1-x)Bi1/2Na1/2TiO3-xSrTiO3 여기서, 상기 화학식 1 중 x는 0
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제1항에 있어서,상기 제1 세라믹 분말은 하기 화학식 2로 표시되고, 상기 제2 세라믹 분말은 하기 화학식 3으로 표시되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 세라믹 분말의 합성 단계는 Bi2O3, Na2CO3, TiO2, 및 SrCO3 분말을 각각 칭량하고, 습식 혼합하여 밀링하는 단계; 및 상기 밀링된 혼합물을 800℃ 내지 900℃의 온도에서 하소시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 혼합 단계는, 상기 혼합된 세라믹 분말을 습식 분쇄하고 건조시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 소결은 1000℃ 내지 1200℃의 온도에서 1 내지 6시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 무연 압전 세라믹스는, 4 kV/mm의 구동 전계에서 250 pm/V 이상의 전계유기 변형률(Smax/Emax)을 갖는 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제1항에 따라 제조된 무연 압전 세라믹스를 포함하는 압전 응용 소자
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