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기저와 이격되게 위치하는 다결정 금속포일을 열처리하여 단결정 금속포일을 제조하는 단계를 포함하며, 상기 다결정 금속포일의 두께는 5 ~ 200 ㎛이고, 상기 다결정 금속포일은 다결정 금속포일의 고정부가 고정 부재에 의해 고정되어 기저와 이격되게 위치하며, 상기 고정부를 제외한 비고정부는 개방된 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 다결정 금속포일의 고정부는 하나 또는 둘 이상인 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 다결정 금속포일의 비고정부는 곧게 펴진 상태로 열처리 되는 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 다결정 금속포일은 구리(Cu), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 은(Ag), 레늄(Re), 이리듐(Ir), 금(Au), 타이타늄(Ti), 지르코늄(Zr), 하프늄(Hf), 바나듐(V), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 크로미늄(Cr), 몰리브데늄(Mo), 텅스텐(W), 알루미늄(Al), 아연(Zn), 망간(Mn) 또는 주석(Sn) 포일인 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 단결정 금속포일은 양면이 동일한 결정면을 가지는 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 단결정 금속포일은 평면의 수직방향을 기준으로 (111), (001), (112), (123) 또는 (0001) 결정면을 가지는 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 열처리는 하기 관계식 2를 만족하는 온도 및 0
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제 1항에 있어서,상기 열처리는 수소 기체 분위기, 아르곤 기체 분위기 또는 수소-아르곤 혼합 기체 분위기 하에서 수행되며, 상기 수소 기체, 아르곤 기체 또는 수소-아르곤 혼합 기체는 1 내지 500 sccm으로 주입되는 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항, 제 3항 내지 제 4항, 및 제 6항 내지 제 10항에서 선택되는 어느 한 항의 단결정 금속포일의 제조방법을 통해 제조되어, 양면이 동일한 결정면을 가지며 두께가 20㎛초과 내지 200㎛이하인 단결정 금속포일
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