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나프티네이트계 광경화성 무기물 전구체 조성물 및 이를 이용한 패턴 전사 방법(Photo curable inorganic precursor composition based naphthenates and method for fabricating fine pattern using the same)

  • 기술번호 : KST2018000913
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 나프티네이트계 화합물을 기반으로 하는 광경화성 무기물 전구체 조성물과 이를 이용한 무잔류층 패턴 전사 방법에 관한 것으로, 금속 이온을 함유하고 있는 나프티네이트계 무기물 전구체 조성물을 이용하여 광경화성 무기물을 기반으로 하는 수지를 합성하고, 이를 나노 임프린트 기술에 적용하여 패턴 사이에 잔류층이 발생하지 않아 정밀한 미세 패턴을 형성하는 방법에 관한 것이다.
Int. CL G03F 7/004 (2018.01.19) G03F 7/028 (2018.01.19) H01L 21/033 (2018.01.19) B82Y 40/00 (2018.01.19)
CPC
출원번호/일자 1020180004827 (2018.01.15)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0008841 (2018.01.24) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2016-0026978 (2016.03.07)
관련 출원번호 1020160026978
심사청구여부/일자 Y (2018.01.15)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이수옥 대전광역시 서구
2 이재종 대전광역시 유성구
3 정상희 대전광역시 서구
4 정미라 전라북도 남원시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2018.01.15 수리 (Accepted) 1-1-2018-0042945-18
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2018.04.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0230003-92
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2018.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2018-0531893-79
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2018.05.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0531842-51
5 등록결정서
Decision to grant		 2018.10.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0686987-09
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번호 청구항
1 1
금속 나프티네이트, 용매 및 광개시제로 이루어지며, 상기 금속 나프티네이트 및 용매의 혼합 중량비가 1:5 내지 1:15인 나노임프린트용 무기물 전구체 조성물
2 2
제1항에 있어서,상기 금속 나프티네이트는 니켈 나프티네이트, 철 나프티네이트, 아연 나프티네이트 및 코발트 나프티네이트 중에서 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 나노임프린트용 무기물 전구체 조성물
3 3
제1항에 있어서,상기 용매는 톨루엔인 나노임프린트용 무기물 전구체 조성물
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020170104234 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 3D 나노-마이크로 하이브리드 구조체 제작 리소그래피기술 개발 (3/9)