| 요약 |
본 발명은 플라즈마 밀도 측정에 사용되는 Electric Probe Tip의 오염을 방지하고, 측정 정확도를 높이는 삼각파 발생 회로를 제공하기 위한 것으로서, AC 220V를 인가받아 양 또는 음의 약 96V DC를 생성하여 Power Op Amp의 바이어스 전압으로 인가되는 AC-DC Converter와, Op Amp를 다단으로 연결한 미분 회로나 Function Generator를 통해 제작되며, 0.5V 전압을 가지는 삼각파가 발생되는 삼각파 발생회로와, 3개의 스위치(SW1)(SW2)(SW3)를 구비하고, 이것을 조절함으로써 Deep Cleaning, Cleaning, I-V 측정에 해당하는 기능을 수행하며, SW1, SW2, SW3 스위치가 연결될 때마다 Output에 출력되는 전압이 80V, 50V, 25V가 출력되는 Power OP Amp와, SW1, SW2, SW3 가 on/off 되는 시간, 스위치의 on/off 타이밍을 조절하는 Signal Controller로 구성되고, 이때, 상기 삼각파 발생회로에서 발생된 삼각파는 Power OP Amp를 통해 수십V의 삼각파로 증폭되는 것을 특징으로 하는데 있다.
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