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선형 하이브리드 플라즈마 발생 장치(Linear Hybrid Plasma Generating Source)

  • 기술번호 : KST2018000919
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초고주파 플라즈마와 유도결합 플라즈마를 병행 사용하는 선형 하이브리드 플라즈마 발생 장치를 제공하기 위한 것으로서, 수십 mTorr ~ 대기압까지의 고압에서 동작압력이 사용되는 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치(MWP)와, 수 mTorr ~ 수십 mTorr까지의 저압에서 동작압력이 사용되는 유도결합 플라즈마 발생장치가 결합되어 서로 병행 사용되는 있다.
Int. CL H01J 37/32 (2016.08.19)
CPC H01J 37/32192(2013.01) H01J 37/32192(2013.01)
출원번호/일자 1020160089245 (2016.07.14)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0007836 (2018.01.24) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이호준 대한민국 부산광역시 금정구
2 한문기 대한민국 경상남도 김해시 함박로 **
3 서권상 대한민국 부산광역시 금정구
4 손의정 대한민국 부산광역시 북구
5 차주홍 대한민국 부산광역시 동래구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
3 나성곤 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2016.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2016-0682665-04
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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수십 mTorr ~ 대기압까지의 고압에서 동작압력이 사용되는 마이크로웨이브 플라즈마 발생장치(MWP)와, 수 mTorr ~ 수십 mTorr까지의 저압에서 동작압력이 사용되는 유도결합 플라즈마 발생장치가 결합되어 서로 병행 사용되는 것을 특징으로 하는 선형 하이브리드 플라즈마 발생 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 부산대학교 산학협력단 지역혁신창의인력양성사업(교육부) 고전압전원 기반 산업용 플라즈마 응용시스템 개발 및 플라즈마모듈 설계 엔지니어 양성(민간부담금)