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금속 촉매 상에 형성된 나노박막의 상면에 폴리실록산계 물질을 용제인 n-부탄올(n-butanol; C4H10O)에 녹인 전구체 용액을 도포 또는 코팅하는 단계(S100); 상기 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 실란올(silanol; SiOH) 재질의 캐리어 필름을 형성하는 단계(S200); 상기 금속 촉매를 에칭하여 제거하는 단계(S300); 타겟 기판의 상면에 상기 나노박막이 접촉되도록 하여 밀착시키는 단계(S400); 상기 캐리어 필름의 상면에 점착 테잎을 부착시키는 단계(S500); 및 상기 점착 테잎을 박리하여, 상기 점착 테잎에 캐리어 필름이 부착된 상태로 타겟 기판으로부터 캐리어 필름이 제거되도록 하여 타겟 기판에 나노박막이 전사되도록 하는 단계(S600); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법
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제1항에 있어서,상기 S100단계에서는, 스핀코팅에 의해 상기 나노박막의 상면에 전구체 용액이 코팅되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법
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제1항에 있어서,상기 S200단계에서, 상기 전구체 용액은 도포 또는 코팅된 후 150℃ 이상 200℃ 이하의 범위에서 열처리되어 경화되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법
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제1항에 있어서,상기 S500단계에서,상기 점착 테잎은 캐리어 필름보다 넓게 평면 형태로 형성되어, 상기 점착 테잎의 범위 내에 캐리어 필름이 위치하도록 부착되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법
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제1항에 있어서,상기 S500단계 및 S600단계에서,상기 점착 테잎은 롤러 형태로 형성되어, 상기 롤러 형태의 점착 테잎이 캐리어 필름의 일단에 부착되도록 한 후 타단까지 롤러 형태의 점착 테잎을 가압 회전시켜 캐리어 필름이 제거되도록 하는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법
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상면에 나노박막이 형성된 금속 촉매를 공급하면서 상기 나노박막의 상면에 폴리실록산계 물질을 용제인 n-부탄올(n-butanol; C4H10O) 녹인 전구체 용액을 도포 또는 코팅하는 단계(SA100); 상기 도포 또는 코팅된 전구체 용액을 경화시켜 실란올(silanol; SiOH) 재질의 캐리어 필름을 형성하는 단계(SA200); 상기 나노박막에 캐리어 필름이 부착된 금속 촉매를 에칭 장치를 통과시켜 금속 촉매를 제거하는 단계(SA300); 상기 나노박막의 하측에 타겟 기판이 배치되도록 하여, 상기 나노박막이 부착된 캐리어 필름 및 타겟 기판이 공급되어 제2롤러들 사이를 통과하면서 밀착되도록 하는 단계(SA400); 및 상기 캐리어 필름의 상측에 점착 테잎이 배치되도록 하여, 상기 캐리어 필름 및 나노박막이 적층되어 밀착된 타겟 기판과 점착 테잎이 공급되어 제3롤러들 사이를 통과하며 밀착된 후, 상기 점착 테잎에 캐리어 필름이 부착된 상태로 나노박막에서 캐리어 필름이 제거되도록 하여 타겟 기판에 나노박막이 전사되도록 하는 단계(SA500); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법
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제7항에 있어서,상기 SA100단계 내지 SA500단계가 롤투롤 공정에 의해 연속적으로 수행 되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법
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제7항에 있어서,상기 SA100단계와 SA200단계 사이에,상기 나노박막의 상면에 도포 또는 코팅된 전구체 용액의 두께를 조절하는 단계(SA150)가 더 수행되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법
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제7항에 있어서,상기 전구체 용액은 150℃ 이상 200℃ 이하의 범위에서 열처리되어 경화되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법
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제7항에 있어서,상기 SA500단계에서,상기 점착 테잎은 캐리어 필름의 폭보다 넓게 형성되어, 상기 점착 테잎의 범위 내에 캐리어 필름이 위치하도록 부착되는 것을 특징으로 하는 나노박막 전사 방법
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