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진공 상태의 공간을 감싸기 위한 벽을 관통하고 적어도 하나의 부분에 나사산이 형성되는 파이프;상기 파이프를 감싸고 상기 파이프의 위치를 고정하기 위한 고정 어셈블리; 및상기 나사산에 의하여 상기 파이프와 결합되고 상기 고정 어셈블리를 상기 벽에 대하여 가압하기 위한 조이닝 너트(joining nut)를 포함하고,상기 파이프는, 상기 고정 어셈블리 및 조이닝 너트가 결합되는 결합부를 포함하고,상기 결합부는 나머지 부분보다 두꺼운 단면 두께를 가지고,상기 고정 어셈블리는, 상기 벽과 접하는 기둥부 및 상기 기둥부와 연결되는 플랜지부를 포함하는 진공 플랜지;상기 기둥부의 적어도 일부를 감싸는 중간 링; 및 상기 플랜지부를 기준으로 상기 중간링의 반대측에 배치되는 실 플러그(seal plug)를 포함하는 파이프 진공 피드스루
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제1항에 있어서,상기 고정 어셈블리는, 순서대로 상기 실 플러그, 플랜지, 및 중간 링을 관통하는 적어도 하나 이상의 볼트를 더 포함하는 파이프 진공 피드스루
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제4항에 있어서,상기 결합부는, 상기 진공 플랜지가 배치되기 위한 제1 부분;상기 실 플러그가 배치되기 위한 제2 부분; 및상기 조이닝 너트가 배치되기 위한 제3 부분을 포함하고,순서대로 상기 제1 부분으로부터 제3 부분으로 갈수록 단면 두께가 감소하는 파이프 진공 피드스루
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제4항에 있어서,상기 중간 링에는, 상기 볼트와 체결되기 위하여, 나사산이 형성된 적어도 하나 이상의 볼트 홀이 제공되는 파이프 진공 피드스루
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제5항에 있어서,상기 실 플러그는, 상기 제2 부분과 상기 플랜지부 사이에 삽입되기 위한 돌출 링을 포함하는 파이프 진공 피드스루
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제7항에 있어서, 상기 플랜지부의 내주면과 상기 제1 부분은 일정한 간격을 두고 이격되는 파이프 진공 피드스루
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제7항에 있어서, 진공 누설 여부를 확인하기 위하여, 순서대로 상기 중간 링, 플랜지부, 및 돌출 링을 관통하는 누설 유로가 형성되는 파이프 진공 피드스루
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제5항에 있어서,진공 누설을 방지하기 위하여, 상기 결합부와 상기 실 플러그 사이, 및 상기 플랜지부와 상기 실 플러그 사이에 배치되는 복수 개의 실 링(seal ring)을 더 포함하는 파이프 진공 피드스루
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진공 상태의 공간을 감싸기 위한 벽을 포함하는 챔버;상기 벽을 관통하는 파이프, 상기 파이프의 위치를 고정하기 위한 고정 어셈블리, 및 상기 벽에 대하여 상기 고정 어셈블리를 가압하기 위한 조이닝 너트(joining nut)를 포함하는 파이프 진공 피드스루; 및상기 고정 어셈블리로부터 누설되는 가스를 감지하기 위한 누설 감지기를 포함하고,상기 고정 어셈블리는,일 면이 상기 벽과 접하는 기둥부 및 상기 기둥부와 연결되는 플랜지부를 포함하는 진공 플랜지;상기 기둥부의 일부를 감싸고 상기 플랜지부의 일 면과 접하는 중간 링; 상기 플랜지부의 타 면과 접하는 실 플러그(seal plug); 및 순서대로 상기 실 플러그, 플랜지, 및 중간 링을 관통하는 적어도 하나 이상의 볼트를 포함하는 진공 처리 장치
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제11항에 있어서, 상기 벽은 상기 파이프를 관통시키기 위한 구멍을 포함하고, 상기 파이프의 지름은 상기 구멍의 지름보다 작고, 상기 조이닝 너트를 제거시, 상기 파이프는 상기 구멍 내로 슬라이딩 가능한 진공 처리 장치
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제11항에 있어서,상기 고정 어셈블리는, 진공 누설 여부를 감지하기 위하여, 순서대로 상기 중간 링, 플랜지부, 및 돌출 링을 따라 형성되는 누설 유로를 포함하는 진공 처리 장치
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제14항에 있어서,진공 누설을 방지하기 위하여, 상기 파이프와 상기 실 플러그 사이, 및 상기 플랜지부와 상기 실 플러그 사이에 배치되는 복수 개의 실 링(seal ring)을 더 포함하는 진공 처리 장치
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