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기판 패드막;서로 마주하며 상기 기판 패드막 상에 고정된 제1 광 소자부 및 제2 광 소자부;상기 제1 광 소자부 및 상기 제2 광 소자부 사이에 배치되고, 상기 제1 광 소자부 및 상기 제2 광 소자부에 광학적으로 결합된 타겟 위치에서 상기 기판 패드막 상에 고정된 렌즈 유닛; 및상기 기판 패드막 상에 교대로 적층된 제1 물질막들 및 제2 물질막들을 포함하고, 상기 렌즈 유닛의 측벽 및 바닥면을 지지하는 렌즈 본딩 영역을 정의하는 다층막을 포함하는 광 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 제1 물질막들은 상기 제2 물질막들과 다른 화학적 조성을 갖는 광 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 렌즈 본딩 영역은상기 렌즈 유닛의 렌즈 바디가 안착되는 렌즈 바디홈; 및상기 렌즈 바디의 바닥면에 부착된 렌즈 패드 및 솔더가 안착되도록 상기 렌즈 바디홈 아래에 배치된 렌즈 본딩홈을 포함하는 광 모듈
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제 3 항에 있어서,상기 렌즈 본딩홈은 상기 렌즈 바디홈에 비해 좁은 폭으로 형성된 광 모듈
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제 1 항에 있어서,상기 제1 광 소자부는 다채널을 구성하는 광 도파로들을 포함하고,상기 제2 광 소자부는 상기 광 도파로들 각각에 광 신호를 송신하는 레이저 다이오드들을 포함하거나, 상기 광 도파로들 각각으로부터의 광 신호를 수신하는 포토 다이오드를 포함하고,상기 렌즈 유닛은 상기 광 도파로들 각각에 광학적으로 결합된 렌즈 바디들을 포함하는 반도체 장치
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x-z평면으로 확장된 기판 패드막이 상부에 코팅되고, 상기 기판 패드막 상에 서로 마주하여 고정된 광 도파로 및 광 소자를 포함하는 베이스 기판을 형성하는 단계;상기 광 소자로부터 상기 광 도파로로 광 신호를 송신하거나, 상기 광 도파로로부터의 광 신호가 상기 광 소자로 수신되도록 상기 광 신호를 집광하는 렌즈 바디의 렌즈 패드에 솔더를 코팅하는 단계;상기 렌즈 바디를 상기 광 도파로와 상기 광 소자에 광학적으로 결합되는 타겟 위치에 정렬하는 단계;상기 렌즈 바디를 상기 x-z평면에 수직한 y축을 따라 상기 타겟 위치 상부로 상승시키는 단계;상기 렌즈 패드의 위치 및 형태에 관한 패드 정보를 추출하는 단계;상기 패드 정보에 따라, 상기 베이스 기판 상에 렌즈 본딩 영역을 패터닝하는 단계; 및상기 렌즈 바디를 상기 렌즈 본딩 영역에 고정시키는 단계를 포함하는 광 모듈 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 렌즈 본딩 영역을 패터닝 하는 단계는,상기 패드 정보에 따라, 상기 렌즈 패드와 동일한 형태의 상기 렌즈 본딩 영역이 상기 기판 패드막에 정의되도록 상기 기판 패드막을 식각하여 트렌치를 형성하는 단계를 포함하는 광 모듈 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 기판 패드막의 상기 렌즈 본딩 영역은 상기 트렌치에 의해 상기 기판 패드막의 렌즈 본딩 예외 영역으로부터 고립되는 광 모듈 제조방법
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제 7 항에 있어서,상기 렌즈 바디를 상기 렌즈 본딩 영역에 고정시키는 단계는상기 솔더가 상기 기판 패드막의 상기 렌즈 본딩 영역에 접촉되도록 상기 상기 렌즈 바디를 상기 y축을 따라 하강시키는 단계; 및상기 솔더를 용융시키는 단계; 및상기 용융된 솔더를 냉각시키는 단계를 포함하는 광 모듈 제조방법
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제 6 항에 있어서,상기 기판 패드막 상에 제1 물질막들 및 제2 물질막들이 교대로 적층된 다층막을 형성하는 단계를 더 포함하고,상기 렌즈 본딩 영역을 패터닝 하는 단계는,상기 패드 정보에 따라, 상기 기판 패드막을 노출시키고 상기 렌즈 패드와 동일한 형태를 갖는 렌즈 본딩홈이 상기 다층막 내부에 형성되도록 상기 다층막을 식각하는 단계;상기 렌즈 바디가 y축 방향으로 단계적으로 하강할 수 있도록 상기 제1 물질막들 및 상기 제2 물질막들을 한 층씩 식각하여 상기 렌즈 바디와 동일한 형태의 렌즈 바디홈을 형성하는 단계;상기 제1 물질막들 및 상기 제2 물질막들을 한 층씩 식각할 때 마다 상기 렌즈 바디, 상기 광 도파로 및 상기 광 소자들 간 광학적 결합 상태를 모니터링하는 단계; 및상기 렌즈 바디, 상기 광 도파로 및 상기 광 소자들 간 광학적 결합 상태가 타겟에 도달하면, 상기 제1 물질막들 및 상기 제2 물질막들의 식각을 정지하는 단계를 포함하는 광 모듈 제조방법
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제 10 항에 있어서,상기 렌즈 본딩 영역은, 상기 다층막 내에 형성된 상기 렌즈 바디홈, 및 상기 렌즈 바디홈보다 좁은 폭을 가지고 상기 렌즈 바디홈 하부에 배치된 상기 렌즈 본딩홈을 포함하는 광 모듈 제조방법
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제 10 항에 있어서,상기 렌즈 바디를 상기 렌즈 본딩 영역에 고정시키는 단계는상기 렌즈 바디홈의 측벽 및 바닥면에 잔류된 상기 다층막에 의해 상기 렌즈 바디가 지지된 상태에서, 상기 솔더를 용융 및 냉각하여 상기 솔더를 상기 기판 패드막에 고정시키는 단계를 포함하는 광 모듈 제조방법
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