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가공 대상물에 밀착되도록 복수의 가공 부재들을 구비하는 가공부; 및상기 가공부에 연결되어 전달할 초음파를 발생시키는 초음파 진동부를 포함하며,상기 가공 부재들은상기 가공 대상물에 작용하는 최대 변위 및 위상 중 적어도 하나에서 서로 다른 값을 가지며,상기 가공부는상기 초음파 진동부에 전달 부재로 연결되며, 상기 전달 부재의 반대측에 상기 가공 부재들을 구비하고 상기 전달 부재에 교차하는 플레이트를 포함하는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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제1항에 있어서,상기 가공 부재들은상기 초음파의 최대 변위에서 서로 다른 값을 가지도록 서로 다른 직경을 가지는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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제2항에 있어서,상기 플레이트는상기 전달 부재에 직교하는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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제3항에 있어서,상기 가공 부재들은서로 이격되어 상기 플레이트에 장착되는 장착핀들, 및상기 장착핀들의 선단에 각각 장착되는 가공팁들을 포함하는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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제4항에 있어서,상기 장착핀들은 서로 다른 직경으로 형성되고,상기 가공팁들은 서로 다른 직경의 구로 형성되는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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제1항에 있어서,상기 초음파 진동부를 수용하는 하우징,상기 하우징 내에 구비되어 상기 초음파 진동부를 예압하는 예압부, 및상기 예압부의 일측에 구비되어 상기 예압부를 가압하여 상기 가공부를 상기 가공 대상물에 밀착시키는 가압부를 더 포함하는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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제6항에 있어서,상기 하우징은외면에 링 기어를 구비하고,상기 링 기어는모터에 의하여 회전하는 피니언 기어에 기어 결합되는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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제1항에 있어서,상기 가공 부재들은상기 초음파의 위상에서 서로 다른 값을 가지도록 서로 다른 길이를 가지는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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제8항에 있어서,상기 플레이트는 경사 플레이트로 형성되고,상기 경사 플레이트는상기 전달 부재에 설정된 각도로 교차하는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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제9항에 있어서,상기 가공 부재들은서로 이격되어 상기 경사 플레이트에 장착되는 장착핀들, 및상기 장착핀들의 선단에 각각 장착되는 가공팁들을 포함하는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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제10항에 있어서, 상기 장착핀들은 서로 다른 길이로 형성되고,상기 가공팁들은 동일 직경의 구로 형성되는 초음파 진동자를 이용한 표면 처리 장치
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