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레이저 빔을 생성하는 광발생기,상기 레이저 빔이 분기된 복수의 가공빔이 각각 입사되며 서로 다른 광경로를 제공하는 제1 광경로부 및 제2 광경로부상기 복수의 가공빔을 가공 대상물에 조사하는 가공부를 포함하고,상기 제1 광경로부와 상기 제2 광경로부는 상기 가공빔이 입사되고 서로 다른 길이의 제1 광섬유 및 제2 광섬유를 포함하는 레이저 가공 장치
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제1항에서,상기 제1 광경로부는 상기 가공빔을 생성하는 제1 편광 광학계,상기 가공빔을 상기 가공부에 전달하는 제2 편광 광학계를 더 포함하는 레이저 가공 장치
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제2항에서,상기 가공빔은 상기 제1 광경로부에 입사되는 제1 가공빔과 상기 제2 광경로부에 입사되는 제2 가공빔을 포함하는 레이저 가공 장치
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제3항에서,상기 제2 가공빔의 광경로 상에 위치하는 적어도 하나 이상의 제3 광경로부를 더 포함하고,상기 제3 광경로부는 상기 제2 가공빔으로부터 분기된 제3 가공빔이 입사되며 상기 제1 광섬유 및 제2 광섬유와 서로 다른 길이를 가지는 제3 광섬유를 포함하는 레이저 가공 장치
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제4항에서,상기 제3 광경로부는 상기 제2 가공빔으로부터 상기 제3 가공빔을 분기하는 제3 편광 광학계,상기 제3 가공빔과 상기 제2 광경로부로부터 출산되는 제2 가공빔을 상기 제2 편광 광학계로 전달하는 제4 편광 광학계를 더 포함하는 레이저 가공 장치
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제4항에서,상기 제1 광경로부, 제2 광경로부 및 제3 광경로부는 상기 제1 가공빔, 제2 가공빔, 제3 가공빔이 각각 입사되는 제1 집속 렌즈를 더 포함하고,상기 제1 가공빔, 제2 가공빔 및 제3 가공빔은 각각 상기 제1 집속 렌즈를 통과한 후 상기 제1 광섬유, 제2 광섬유 및 제3 광섬유로 입사하는 레이저 가공 장치
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제6항에서,상기 제1 광경로부, 제2 광경로부 및 제3 광경로부는 상기 제1 가공빔, 제2 가공빔, 제3 가공빔이 각각 입사되는 컬리메이팅 렌즈를 더 포함하고,상기 제1 가공빔, 제2 가공빔 및 제3 가공빔은 각각 상기 제1 광섬유, 제2 광섬유 및 제3 광섬유를 통과한 후 상기 컬리메이팅 렌즈로 입사하는 레이저 가공 장치
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제1항에서,상기 가공부는 상기 복수의 가공빔이 입사되는 제2 집속 렌즈, 제4 광섬유 및 제3 집속 렌즈를 포함하는 레이저 가공 장치
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레이저 빔을 생성하는 광발생기,상기 레이저 빔을 복수의 가공빔으로 분기하는 제1 편광 광학계,상기 가공빔이 각각 입사되는 복수의 제1 광섬유,상기 가공빔이 입사되는 제2 편광 광학계,상기 제2 편광 광학계를 통과한 상기 가공빔의 광경로 상에 연속해서 위치하는 제2 집속 렌즈, 제2 광섬유, 제3 집속 렌즈를 포함하고,상기 복수의 제1 광섬유의 길이는 서로 다른 길이를 가지는 레이저 가공 장치
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제9항에서,상기 제1 편광 광학계는 상기 레이저 빔을 한 쌍의 가공빔으로 분기하는 레이저 가공 장치
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제10항에서,상기 한 쌍의 가공빔은 상기 제2 편광 광학계에 시간 차이를 두고 입사되며,상기 시간 차이는 1펨토초(femto second) 내지 100나노초(nano second)인 레이저 가공 장치
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