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적어도 하나의 압전 재료층;상기 압전 재료층의 상면 및 하면에 적층되는 적어도 두 개의 전극층;상기 각각의 전극층의 동일한 면에 위치한 일측으로부터 연장된 전극패드;상기 두 개 이상의 전극층의 배열 중 최상부 전극층으로부터 연장된 전극패드와 동일 평면에서 최상부 전극층에 인접하게 위치하고, 상기 최상부 전극층과 비접촉되어 있고, 상기 최상부 전극층 아래에 위치하는 하나 이상의 하부 전극층의 개수와 동일한 개수로 구비되는 보조 전극패드; 및상기 최상부 전극층으로부터 연장된 전극패드 및 보조 전극패드의 위치를 기준으로 하는 압전 재료층 및 전극층의 적층 방향에 평행한 각각의 열 또는 일부 열에 포함되는 둘 이상의 전극패드 또는 보조 전극패드 및 하나 이상의 전극패드를 전기적으로 연결하는 전도성 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는,적층형 압전 소자
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제1항에 있어서,상기 압전 소자는,상기 전극층이 2n개 및 상기 압전 재료층이 2n-1개의 개수로 적층되고, 상기 전극 패드는 상기 전극층 및 압전 재료층의 적층 방향에 평행한 2n개의 열 내에 배치되고,상기 n은 1이상의 정수 중 홀수인 것을 특징으로 하는,적층형 압전 소자
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제1항에 있어서,압전 재료층이 하나 이상 및 전극층이 두 개 이상의 소정의 개수로 한 벌을 이루는 세트가 복수로 적층되고,적어도 두 개의 세트의 사이에는 버퍼층이 구비되는 것을 특징으로 하는 적층형 압전 소자
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제3항에 있어서,상기 각각의 세트에 구비된 전극패드는 세트의 평면에서 볼 때 서로 다른 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는,적층형 압전 소자
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제1항에 있어서,상기 압전 재료층이 셋 이상의 홀수로 적층 배열된 경우 가운데에 위치한 압전 재료층은 버퍼층인 것을 특징으로 하는,적층형 압전 소자
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제1항에 있어서,상기 전도성 부재는 상기 각각의 열을 따라 도포되는 전도성 접착제인 것을 특징으로 하는,적층형 압전 소자
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8
제1항에 있어서,상기 두 개 이상의 전극층으로부터 연장된 전극패드 중 두 개 이상의 전극패드를 분극에 이용하고,분극에 이용한 전극패드들 전부에 구동전압을 인가하거나 분극에 이용한 전극패드들 중 선택된 일부와 나머지 전극패드의 전부 또는 선택된 일부에 구동전압을 인가하는 것을 특징으로 하는,적층형 압전 소자
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서로 교번하여 적층된 전극층 및 압전 재료층, 각각의 전극층의 동일한 면에 위치한 일측으로부터 연장된 전극패드를 포함하고, 상기 전극층은 셋 이상의 홀수의 개수이고 상기 압전 재료층은 둘 이상의 짝수의 개수로 구비되어 한 벌을 이루고 있는 제1 압전체 세트;상기 제1 압전체 세트의 위 또는 아래에 적층되고 상기 압전 재료층과 동일한 재료로 이루어지는 버퍼층;상기 제1 압전체 세트의 전극층 및 압전 재료층과 동일한 개수로 서로 교번하여 적층되어 있는 전극층 및 압전 재료층, 각각의 전극층에서 상기 제1 압전체 세트의 전극패드와 동일한 방향으로 연장된 전극패드를 포함하고, 상기 버퍼층의 위 또는 아래에 적층된 제2 압전체 세트를 포함하고,상기 제1 압전체 세트는,제5 하부 전극층;상기 제5 하부 전극층 위로 적층된 제5 압전 재료층;상기 제5 압전 재료층의 위로 적층된 제4 하부 전극층;상기 제4 하부 전극층의 위로 적층된 제4 압전 재료층;상기 제4 하부 전극층 및 상기 버퍼층의 사이에 적층된 제3 하부 전극층;상기 제5 하부 전극층의 일측으로부터 연장된 제8 전극패드 및 제9 전극패드;상기 제4 하부 전극층으로부터 상기 제8 전극패드 및 제9 전극패드와 동일 방향으로 연장된 제6 전극패드 및 제7 전극패드; 및상기 제3 하부 전극층으로부터 상기 제8 전극패드 및 제9 전극패드와 동일 방향으로 연장된 제4 전극패드 및 제5 전극패드를 포함하고,상기 제2 압전체 세트는,상기 버퍼층의 위로 적층된 제2 하부 전극층;상기 제2 하부 전극층의 위로 적층된 제2 압전 재료층;상기 제2 압전 재료층의 위로 적층된 제1 하부 전극층;상기 제1 하부 전극층의 위로 적층된 제1 압전 재료층;상기 제1 압전 재료층의 위로 적층된 최상부 전극층;상기 제2 하부 전극층의 일측으로부터 연장된 제3 전극패드;상기 제1 하부 전극층으로부터 상기 제3 전극패드와 동일 방향으로 연장된 제2 전극패드;상기 최상부 전극층으로부터 상기 제3 전극패드와 동일 방향으로 연장된 제1 전극패드를 포함하며,상기 제1 전극패드와 동일 평면에서 상기 최상부 전극층에 인접하게 위치하고, 상기 최상부 전극층과 비접촉되어 있고, 상기 최상부 전극층 아래에 위치하는 제1 내지 제5 하부 전극층의 개수와 동일한 개수로 구비되는 보조 전극패드; 및상기 제1 전극패드 및 각각의 보조 전극패드의 위치를 기준으로 하는 상기 제1 압전체 세트, 버퍼층 및 제2 압전체 세트의 적층 방향에 평행한 각각의 열에 포함되는 제2 내지 제9 전극패드를 상기 제1 전극패드 및 각각의 보조 전극패드와 전기적으로 연결하는 전도성 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는,적층형 압전 소자
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제9항에 있어서,상기 제1 내지 제9 전극패드는 제2 압전체 세트의 평면에서 볼 때 서로 다른 위치에 배치되는 것을 특징으로 하는,적층형 압전 소자
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제9항에 있어서,상기 압전 소자를 분극시킬 때 상기 제1 전극패드, 제3 전극패드, 제4 전극패드 및 제6 전극패드가 이용되고,상기 압전 소자를 구동시킬 때 상기 제1 전극패드, 제2 전극패드, 제5 전극패드 및 제6 전극패드가 이용되는 것을 특징으로 하는,적층형 압전 소자
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제9항에 있어서,상기 압전 소자를 분극시킬 때 상기 제1 전극패드, 제2 보조 전극패드, 제3 보조 전극패드 및 제5 보조 전극패드에 분극 전압을 인가하고,상기 압전 소자를 구동시킬 때 상기 제1 전극패드, 제1 보조 전극패드, 제4 보조 전극패드 및 제5 보조 전극패드에 구동 전압을 인가하는 것을 특징으로 하는,적층형 압전 소자
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