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다공성 금속폼을 롤투롤 방식으로 공급 및 회수하는 제1 롤러;상기 다공성 금속폼을 열처리하고, 상기 다공성 금속폼의 표면에 그래핀을 형성하는 가열부; 및상기 열처리된 금속폼을 롤투롤 방식으로 회수 및 공급하는 제2 롤러;를 포함하는 그래핀 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 그래핀 형성은 화학기상증착법에 의하는 것인 그래핀 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 롤러 및 제2 롤러는 라쳇 시스템을 포함하는 것인 그래핀 제조 장치
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제1항에 있어서, 상기 그래핀 제조 장치는,상기 제1 롤러 및 제2 롤러 사이에 형성되어 상기 다공성 금속폼이 통과하고, 상기 가열부가 구비되는 작업챔버;상기 제1 롤러를 수용하는 제1 챔버; 및상기 제2 롤러를 수용하는 제2 챔버;를 더 포함하고, 상기 작업챔버, 제1 챔버 및 제2 챔버는 일체형으로 형성된 그래핀 제조 장치
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제1항에 있어서,상기 가열부는 온도 조절이 가능한 열원을 구비하는 그래핀 제조 장치
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제4항에 있어서,상기 제2 챔버는 그래핀의 원료 가스를 공급하는 원료 공급부를 더 구비하는 그래핀 제조 장치
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제6항에 있어서,상기 원료 공급부는 액체를 기화시켜 그래핀의 원료로 공급하는 액체 원료 공급부 또는 그래핀의 도핑 원료를 공급하는 도펀트 원료 공급부를 더 포함하는 그래핀 제조 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 챔버는 가스를 배출하는 가스 배출구가 더 구비된 그래핀 제조 장치
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롤투롤 방식으로 다공성 금속폼을 1차 공급하는 단계;상기 다공성 금속폼을 열처리하는 단계;상기 열처리된 다공성 금속폼을 롤투롤 방식으로 1차 회수하는 단계;상기 1차 회수된 다공성 금속폼을 롤투롤 방식으로 2차 공급하는 단계;상기 다공성 금속폼 표면에 그래핀을 형성시키는 단계; 및상기 그래핀이 형성된 다공성 금속폼을 롤투롤 방식으로 2차 회수하는 단계;를 포함하는 그래핀 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 열처리는 800℃ 내지 1100℃에서 수행되는 그래핀 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 그래핀 형성은 화학기상증착법에 의하는 것인 그래핀 제조 방법
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제11항에 있어서, 상기 화학기상증착법은 800℃ 내지 1100℃에서 수행되는 것인 그래핀 제조 방법
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제9항에 있어서, 상기 그래핀 제조 방법은, 다공성 금속폼을 제거하는 단계를 더 포함하는 그래핀 제조 방법
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제9항에 의해 제조된 그래핀 또는 그래핀이 형성된 다공성 금속폼을 전극으로 포함하는 수퍼커패시터
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