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과불화 화합물(Perfluoro compound : PFC) 함유 가스에 대해, 촉매에 의해 가수분해반응을 수행하는 제1 반응기; 및 제1 반응기로부터 배출된 기상 생성물 중 산성가스를 제거하는 제2 반응기를 포함하는 반응기 모듈이 2단 이상 직렬연결되되, 블록화된 2 이상의 제1 반응기 및 블록화된 2 이상의 제2 반응기를 서로 인접하도록 조립하여 형성된 것으로,제1 반응기로부터 배출된 기상 생성물은 제1반응기에 인접해 있는 제2 반응기로 직접 도입되고, 전단의 제2 반응기로부터 배출된 가스가 인접해 있는 후단의 제1 반응기로 직접 도입되는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 반응기 모듈이 2단 이상으로 직렬연결된 장치는 PFC 가수분해 촉매반응 및 산성가스 제거반응의 싸이클이 2회 이상 반복됨으로써, 평형파과에 의해 정방향 촉매반응의 효율이 향상되는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 제1 반응기는 가수분해반응용 촉매가 충진되어 있고, 제2반응기는 고상의 산성가스 제거제가 충진되어 있으며, PFC 함유 가스는 제1 반응기로 도입되고, 반응기내 촉매와 접촉하면서 PFC 의 가수분해물 가스로 전환되어 배출되고, 제1 반응기로부터 배출된 PFC 의 가수분해물 가스는 제1반응기에 인접해 있는, 제2 반응기로 직접 도입되어 PFC 의 가수분해물 중 산성가스가 제거된 후, 제2 반응기로부터 배출되고 후단의 제1 반응기로 도입되는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제3항에 있어서, 하나 이상의 제1 반응기의 도입부 및 하나 이상의 제2반응기 도입부에는 유체 흐름을 가이드하는 분산판이 설치되어 있는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, PFC 함유 가스는 제1 반응기 하부로 도입되고, 반응기내 촉매와 상방향 흐름으로 접촉하면서 PFC 의 가수분해물 가스로 전환되어 배출되고, 제1 반응기로부터 배출된 PFC 의 가수분해물 가스는 제1반응기에 인접해 있는 제2 반응기로 직접 도입되어 하방향 흐름으로 PFC 의 가수분해물 중 산성가스가 제거된 후, 제2 반응기로부터 배출되고 후단의 제1 반응기 하부로 도입되는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, PFC 처리용 장치의 수평 단면을 기준으로 (i) 블록화된 2 이상의 제1 반응기는 외부에, 그리고 블록화된 2 이상의 제2 반응기는 내부에 배치되어 조립되거나,(ii) 블록화된 2 이상의 제1 반응기는 내부에, 그리고 블록화된 2 이상의 제2 반응기는 외부에 배치되어 조립된 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, PFC 처리용 장치의 수평 단면을 기준으로 블록화된 2 이상의 제1 반응기 및 블록화된 2 이상의 제2 반응기는 각각 독립적인 형태의 사각형이거나, 블록화된 2 이상의 제1 반응기 또는 제2반응기를 조립하면 도넛형태이고 블록화된 2 이상의 제2 반응기 또는 제1반응기는 부채꼴(circular sector)형태이면서 상기 도넛형태의 내부 원호에 인접 배치될 수 있는 형태인 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제6항에 있어서, PFC 처리용 장치는 PFC 처리용 장치의 수평 단면을 기준으로, 외부에 단열 자켓이 구비되거나; (i)의 경우 외부에 가열 자켓이 구비되거나, (ii)의 경우 인접한 제1반응기들이 조립되어 형성되는 내부에 공통의 가열수단이 구비된 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 반응기 모듈이 3단 또는 4단으로 직렬연결된 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 블록화된 2 이상의 제1 반응기는 각각 가스가 통과할 수 있으면서 촉매 입자가 빠지지 않는 크기의 메쉬 형태의 지지체 상에 촉매 입자들이 충진되어 있는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제8항에 있어서, 각 제1 반응기의 내부는 인접배치된 가열 자켓 또는 가열 수단으로부터 열전달이 용이하도록 핀(fin) 구조물이 형성되어 있는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 블록화된 2이상의 제1 반응기와 블록화된 2이상의 제2반응기가 교번하여 일렬로 직렬연결되어 있되, 가운데 가열 수단을 중심으로 이와 인접하여 배치된 것이고, 제1반응기 모두, 제2반응기 모두 또는 둘다는 하나의 공통 가열수단을 통해 열공급 받을 수 있는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 블록화된 2 이상의 제1 반응기의 각 상단에는 가수분해반응용 촉매 투입구가 구비되어 있고/있거나, 블록화된 2 이상의 제2 반응기의 각 상단에는 산성가스 제거제 투입구가 구비되어 있는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 고상의 산성가스 제거제는 연속식으로 제2 반응기 상부로 공급되고, 과불화 화합물의 가수분해물 중 산성가스를 제거하면서 제2 반응기 하부로 배출되는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 제2 반응기는 싸이클론인 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제15항에 있어서, 제1 반응기에서 형성된 생성물 함유 가스가 선회 흐름(vortex)으로 싸이클론의 제2 반응기에 공급되면서, 고상의 산성가스 제거제가 싸이클론 상부에 공급되면, 고상의 산성가스 제거제가 상기 생성물 함유 가스의 선회 흐름에 혼류되어 산성가스를 흡수한 후, 가속되는 원심력과 중력에 의해 흐름에서 이탈되어 내벽에 충돌하여, 선회 흐름 효과에 의해 중심부에서 역류 상승하는 산성가스가 일부 또는 전부 제거된 가스와 분리되어 제2 반응기 하단으로 배출되는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 각 단의 제1 반응기는 각 반응기의 최대 촉매 처리 용량의 50~99%를 수행하도록 운전조건이 설정되어 있는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 촉매 반응이 흡열반응인 경우 반응물 전환율이 동일한 반응기 모듈 1단 사용 시 보다 반응온도를 낮추는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 여유분의 반응기 모듈을 추가로 구비하여 반응기 모듈들을 순환교대 운전시키면서, 운전이 정지된 반응기 모듈에서는 촉매 또는 고상의 산성가스 제거제를 교체하는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 2개의 반응기 모듈 사이 밸브가 장착되어 on/off를 통해 가스의 유동방향을 제어하고, 촉매 또는 고상의 산성가스 제거제를 교체하기 위해 제1 반응기 일부 또는 제2 반응기 일부 또는 반응기 모듈 일부의 운전을 정지하더라도, 나머지 직렬연결된 반응기 모듈에서는 PFC 가수분해 촉매반응 및 산성가스 제거 반응이 계속 진행되는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 상기 산성가스 제거제는 산화칼슘(CaO), 탄산칼슘(CaCO3), 수산화칼슘(Ca(OH)2) 또는 이의 조합인 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항에 있어서, 상기 산성가스 제거제는 HF를 흡수하고 화학반응하여 불화칼슘(CaF2)을 형성할 수 있는 것이 특징인 PFC 처리용 장치
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제1항 내지 제22항 중 어느 한 항에 기재된 PFC 처리용 장치에서 과불화 화합물(PFC)을 처리하는 방법으로서,제1 반응기에서 PFC 함유 가스에 대해, 촉매에 의해 가수분해반응을 수행하고, 제2 반응기에서 PFC의 가수분해물 가스 중 산성가스를 제거시키는 것이 특징인 PFC 처리 방법
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제1항 내지 제22항 중 어느 한 항에 기재된 PFC 처리용 장치에서, 과불화 화합물(PFC)로부터 불화칼슘을 제조하는 방법으로서,제1 반응기에서 PFC 함유 가스에 대해, 촉매에 의해 가수분해반응을 수행하고, 제2 반응기에서 PFC 의 가수분해물 가스 중 HF를 고상 HF 제거제와 반응시켜 불화칼슘(CaF2)을 형성시키는 것이 특징인 불화칼슘 제조 방법
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