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중심축을 기준으로 대칭인 강도 분포를 갖는 입사빔을 제1빔과 제2빔으로 분할하는 빔 분할기;입사되는 상기 제1빔의 강도 분포를 변형시켜 출사시키는 제1빔 성형기;상기 제1빔 성형기로부터 출사되는 제1빔을 상기 제2빔과 합성시켜, 상기 입사빔보다 균일화된 강도 분포를 갖는 합성빔을 형성시키는 빔 합성기; 및상기 빔 분할기 및 빔 합성기 사이에 형성되는 상기 제2빔의 경로 상에 배치되고, 입사되는 상기 제2빔의 직경 및 강도 분포 중 적어도 하나를 변화시키도록 이루어지는 제2빔 성형기를 포함하며,상기 제1빔 성형기로부터 출사되는 제1빔의 강도 분포의 구배 방향은, 상기 제1빔 성형기에 입사되는 상기 제1빔의 강도 분포의 구배 방향에 반대되는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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제1항에 있어서,상기 제1빔 성형기에 입사되는 제1빔의 중심축으로부터 가장자리로의 강도 분포의 구배 방향이 a일 때, 상기 제1빔 성형기로부터 출사되는 제1빔의 중심축으로부터 가장자리로의 강도 분포의 구배 방향은 -a인 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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제1항에 있어서,상기 제1빔 성형기로부터 출사되는 제1빔의 중심축으로부터 가장자리로의 강도 분포는, 상기 제1빔 성형기에 입사되는 제1빔의 가장자리로부터 중심축으로의 강도 분포와 일치하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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제1항에 있어서,상기 입사빔은 가우시안(Gaussian) 강도 분포를 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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제1항에 있어서,상기 빔 분할기는,상기 입사빔을 선편광시키는 편광판;상기 선편광된 입사빔의 편광 방향을 기설정된 각도로 회전시켜 출사시키도록 형성되는 파장판; 및상기 파장판에서 출사되는 입사빔을 서로 다른 방향으로 편광된 상기 제1 및 제2빔으로 분할하는 편광 분할기를 포함하며,상기 제1 및 제2빔 간의 출력비가 조절되도록, 상기 파장판은 상기 기설정된 각도를 조절 가능하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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제1항에 있어서,상기 제2빔 성형기는, 상기 제2빔이 차례로 통과하도록 서로 이격되어 배치되는 두 개의 구면렌즈를 포함하여 상기 제2빔의 직경을 변화시키는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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제1항에 있어서,상기 제2빔 성형기는, 상기 제2빔이 차례로 통과하도록 서로 이격되어 배치되는 두 개의 비구면렌즈를 포함하여 상기 제2빔의 강도 분포를 변형시키는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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중심축을 기준으로 대칭인 강도 분포를 이루어 입사되는 입사빔 중, 일부는 반사시켜 제1빔을 형성시키고 나머지 일부는 투과시켜 제2빔을 형성시키는 빔 분할기;입사되는 상기 제1빔이 차례로 통과하도록 꼭지점을 서로 마주보고 이격 배치되는 제1 및 제2원뿔렌즈를 구비하여, 상기 제1빔의 중심축으로부터 가장자리로의 강도 분포의 구배 방향을 반전시켜 출사시키는 제1빔 성형기;상기 빔 분할기 및 빔 합성기 사이에 형성되는 상기 제2빔의 경로 상에 배치되고, 입사되는 상기 제2빔이 차례로 통과하도록 서로 이격되어 배치되는 한 쌍의 렌즈를 구비하는 제2빔 성형기; 및서로 다른 방향에서 입사되는 상기 제1빔 성형기로부터 출사된 제1빔과 상기 제2빔 중 어느 하나는 반사시키고 다른 하나는 투과시키도록 배치되어, 상기 제1빔 성형기에서 출사된 제1빔과 상기 제2빔을 합성시킨 합성빔을 출사시키는 빔 합성기를 포함하는 레이저 빔 성형 장치
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제9항에 있어서,상기 제1원뿔렌즈는,상기 제1빔이 수직으로 입사되는 제1평면부; 및상기 제1빔의 중심축 상에 꼭지점이 위치되도록 형성되는 제1원뿔부를 포함하고,상기 제2원뿔렌즈는,상기 제1원뿔렌즈에 의해 형성되는 원거리 초점에 꼭지점이 배치되는 제2원뿔부; 및상기 제1평면부와 나란하게 형성되는 제2평면부를 포함하는 레이저 빔 성형 장치
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제9항에 있어서,상기 한 쌍의 렌즈는 볼록렌즈들인 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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제9항에 있어서,상기 한 쌍의 렌즈는 오목렌즈 및 볼록렌즈인 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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중심축을 기준으로 대칭인 강도 분포를 갖는 입사빔을 서로 다른 각도로 편광된 제1 및 제2빔으로 분할시키는 빔 분할기;입사되는 상기 제1빔의 중심축으로부터 가장자리로의 강도 분포의 구배 방향을 반전시켜 출사시키는 제1빔 성형기;입사되는 상기 제2빔의 직경 및 강도 분포 중 적어도 하나를 변화시켜 출사시키도록 이루어지는 제2빔 성형기; 및상기 제1빔 성형기로부터 출사되는 제1빔과 상기 제2빔 성형기로부터 출사되는 제2빔을 중심축 및 편광 방향이 서로 일치하도록 합성하여, 상기 입사빔보다 균일화된 강도 분포를 갖는 합성빔을 형성시키는 빔 합성기를 포함하며,상기 합성빔의 직경 또는 강도 분포는, 상기 제2빔 성형기에 의한 상기 제2빔의 직경 또는 강도 분포 변화에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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제13항에 있어서,상기 제2빔 성형기는, 입사되는 상기 제2빔이 차례로 통과하도록 서로 이격 배치시킨 두 개의 렌즈를 포함하여, 상기 제2빔의 직경 및 강도 분포 중 적어도 하나를 변화시키는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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제14항에 있어서,상기 두 개의 렌즈는 비구면렌즈로 이루어져, 상기 제2빔의 강도 분포를 변형시키는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 성형 장치
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