1 |
1
게이트 전극 상에 형성된 게이트 절연층;상기 게이트 전극 상에 형성된 게이트 절연층 상에 형성된 이차원 물질층; 상기 이차원 물질층 상에 형성된 절연층; 및 상기 이차원 물질층의 측단부와 접촉하여 형성된 것으로 높은 일함수를 지닌 전극층;을 포함하는 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 전극층은 5
|
3 |
3
제 1항에 있어서,상기 전극층은 상기 이차원 물질층 및 상기 절연층을 개구하여 상기 게이트 절연층 표면에서 상기 이차원 물질층의 측단부와 직접 접촉되도록 형성된 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
4 |
4
제 3항에 있어서,상기 전극층은 상기 게이트 절연층 표면에서 상기 이차원 물질층의 측단부와 직접 접촉되어 각각 형성된 제 1전극층 및 제 2전극층을 포함하는 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
5 |
5
제 1항에 있어서,상기 이차원 물질층은 전이 금속 칼코게나이드계 물질(metal chalcogenide based material)을 포함하여 형성된 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
6 |
6
제 5항에 있어서,상기 이차원 물질층은 MoS2, MoSe2, MoTe2, WS2, WSe2, WTe2, ZrS2, ZrSe2, HfS2, HfSe2, NbSe2 또는 ReSe2로 형성된 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
7 |
7
제 1항에 있어서,상기 절연층은 h-BN 또는 Al2O3로 형성된 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
8 |
8
게이트 전극 상에 형성된 게이트 절연층;상기 게이트 전극 상에 형성된 게이트 절연층 상에 형성된 이차원 물질층; 상기 이차원 물질층 상에 형성된 절연층; 및 상기 이차원 물질층의 측단부와 접촉하여 형성된 것으로 서로 다른 일함수를 지닌 전극층들;을 포함하는 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
9 |
9
제 8항에 있어서, 상기 전극층들은 3eV이상이며, 5eV 미만의 일함수를 지닌 제 1전극층; 및 5
|
10 |
10
제 9항에 있어서,상기 제 1전극층은 제 1-1전극층 및 제 1-2전극층을 포함하며,상기 제 2전극층은 제 2-1전극층 및 제 2-2전극층을 포함하고, 상기 제 1-1전극층은 상기 전자 소자의 제 1영역에 형성되며, 상기 제 2-2전극층은 상기 전자 소자의 제 2영역에 형성되며,상기 1-2전극층 및 상기 2-1전극층은 상기 제 1영역 및 제 2영역 사이에 제 3영역에 함께 형성된 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
11 |
11
제 9항에 있어서,상기 제 1전극층과 상기 이차원 물질층의 측단부와 접촉하는 영역에는 n형 컨택 영역이 형성되며, 상기 제 2전극층과 상기 이차원 물질층의 측단부와 접촉하는 영역에는 p형 컨택 영역이 형성된 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
12 |
12
제 8항에 있어서,상기 이차원 물질층은 전이 금속 칼코게나이드계 물질(metal chalcogenide based material)을 포함하여 형성된 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
13 |
13
제 12항에 있어서,상기 이차원 물질층은 MoS2, MoSe2, MoTe2, WS2, WSe2, WTe2, ZrS2, ZrSe2, HfS2, HfSe2, NbSe2 또는 ReSe2로 형성된 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|
14 |
14
제 1항에 있어서,상기 절연층은 h-BN 또는 Al2O3로 형성된 이차원 물질층을 포함하는 전자 소자
|