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투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법(Method for fabricating electronic device including transparent conductive structure)

  • 기술번호 : KST2018001886
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법을 개시한다. 제 1 영역 및 제2 영역 중 상기 제 1 영역이 선택적으로 표면 개질된 투명전극을 준비하고, 제 1 조성물 및 상기 제 1 조성물과 극성이 다른 제 2 조성물을 포함하는 혼합조성물을 준비하고, 상기 투명전극상에 상기 혼합조성물을 도포하는 것을 포함한다. 상기 도포된 혼합조성물은 표면 개질된 상기 제 1 영역에 배치되고, 상기 제 1 영역에 배치된 혼합조성물은 제1 조성물층 및 상기 제1 조성물층 상의 제 2 조성물층으로 상분리(phase separation)된다.
Int. CL H01L 51/52 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC H01L 51/5215(2013.01) H01L 51/5215(2013.01) H01L 51/5215(2013.01) H01L 51/5215(2013.01) H01L 51/5215(2013.01) H01L 51/5215(2013.01)
출원번호/일자 1020160102586 (2016.08.11)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0018949 (2018.02.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.11.05)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문제현 대한민국 대전광역시 유성구
2 임종태 대한민국 서울특별시 관악구
3 박영삼 대한민국 대전광역시 서구
4 신진욱 대한민국 대전 유성 가정로*
5 유병곤 대한민국 충북 영동군
6 이현구 대한민국 대전광역시 유성구
7 정종찬 대한민국 대전시 대덕구
8 조남성 대한민국 대전광역시 유성구
9 조두희 대한민국 대전시 유성구
10 한준한 대한민국 대전시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2016.08.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0782814-23
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2019-1131722-78
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0597079-50
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.11.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-1167386-20
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.11.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1167387-76
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번호 청구항
1 1
제 1 영역 및 제2 영역 중 상기 제 1 영역이 선택적으로 표면 개질된 투명전극을 준비하는 것;제 1 조성물 및 상기 제 1 조성물과 극성이 다른 제 2 조성물을 포함하는 혼합조성물을 준비하는 것; 및상기 투명전극상에 상기 혼합조성물을 도포하는 것을 포함하되,상기 도포된 혼합조성물은 표면 개질된 상기 제 1 영역에 배치되고, 상기 제 1 영역에 배치된 혼합조성물은 제1 조성물층 및 상기 제1 조성물층 상의 제 2 조성물층으로 상분리(phase separation) 되는 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서,상기 투명전극을 준비하는 것은,상기 투명전극 상에 개구부가 형성된 마스크를 배치하되, 상기 마스크는 상기 제 2 영역을 덮고; 및상기 마스크에 의해 노출된 상기 투명전극의 표면을 개질하여 상기 제 1 영역을 형성하는 것을 포함하는 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
3 3
제 2 항에 있어서,상기 투명전극의 표면을 개질하는 것은 플라즈마처리, 오존처리, uv광 조사 및 자기조립단분자막(Self assembled monolayer; SAM) 방법 중 적어도 하나를 포함하는 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 투명전극의 표면을 개질하는 것은 표면개질제를 이용하는 플라즈마 처리를 수행하는 것을 포함하고, 상기 표면개질제는 질소, 산소, 이산화탄소, 산화질소, 수소, 암모니아, 염소(Cl)계 기체, 오존, 헬륨, 아르곤, 네온, 크세논, 퍼플루오르화 기체 및 이들의 혼합물 중 적어도 하나를 포함하는 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
5 5
제 2 항에 있어서,상기 제 1 영역의 표면에너지는 상기 제 2 영역의 표면에너지보다 큰 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
6 6
제 2 항에 있어서,상기 제 1 영역은, 상기 제 2 조성물에 비하여 상기 제 1 조성물과 더 높은 젖음성(wetting)을 갖는 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
7 7
제 1 항에 있어서,상기 혼합조성물은 상기 제 1 조성물 및 상기 제 2 조성물의 물리적 혼합물인 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 제 1 조성물은 전도성 물질 및 제 1 용매를 포함하고, 상기 제 2 조성물은 절연물질 및 제 2 용매를 포함하는 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
9 9
제 8 항에 있어서,상기 전도성 물질은 나노와이어(nanowire), 나노막대(nanorod), 나노스피어(nanosphere) 및 나노링(nanoring) 중 적어도 하나의 형태를 가지는 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
10 10
제 8 항에 있어서,상기 제 1 용매 및 제 2 용매는 서로 다른 극성을 갖는 물질인 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
11 11
제 1 항에 있어서,상기 혼합조성물 도포 후, 열처리공정 또는 UV 노광공정을 수행하는 것을 더 포함하는 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
12 12
제 1 항에 있어서,상기 상분리된 제1 조성물층 및 상기 제 2 조성물층을 경화시키는 것을 더 포함하는 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조방법
13 13
제 1 항에 있어서,상기 투명전극의 일면 상에 유기발광층을 형성하는 것; 및상기 유기발광층 상에 추가 전극을 형성하는 것을 더 포함하되, 상기 유기발광층은 상기 투명 전극 및 상기 추가 전극 사이에 위치하는 투명 전도성 구조체를 포함하는 전자 소자의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10134992 US 미국 FAMILY
2 US20180047905 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US10134992 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US2018047905 US 미국 DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.