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기판 상에 테라헤르츠 메타물질 구조가 패터닝된 메타물질 기판; 및상기 메타물질 기판 상에 형성되는 수용액이 유입 및 유출되고, 상기 수용액이 수용되어 상기 메타물질 기판에 접하는 수용 공간을 가지는 유량채널;을 포함하며,상기 수용 공간의 상기 메타물질 기판으로부터의 높이(hs)는 10μm 이하인 테라헤르츠 메타물질 소자
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제1항에 있어서,상기 유량채널은 폴리디메틸실록산(poly(dimethylsiloxane), PDMS)를 포함하여 구성되며,상기 유량채널의 상기 메타물질 기판으로부터의 높이(hc)는 10 내지 100μm 인 테라헤르츠 메타물질 소자
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제1항에 있어서,상기 테라헤르츠 메타물질 구조는 패턴 사이에 일정한 간격을 두고 형성되어 캐패시던스를 형성하는 제1 패턴 영역 및 고리 형태의 패턴으로 인덕턴스를 형성하는 제2 패턴 영역을 포함하는 테라헤르츠 메타물질 소자
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제4항에 있어서,상기 제1 패턴 영역의 간격(G)은 2 내지 4μm이며, 상기 제1 패턴 영역 간격의 길이(D)는 8 내지 12 μm이고, 상기 제2 패턴 영역 바의 길이(A)는 35 내지 40μm 인 테라헤르츠 메타물질 소자
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테라헤르츠파 입사 시 공진주파수를 갖는 테라헤르츠 메타물질 소자; 주파수별 테라헤르츠파를 생성하여 상기 테라헤르츠 메타물질 소자로 조사하는 테라헤르츠파 생성기; 및상기 테라헤르츠 메타물질 소자의 공진주파수 변화를 측정하는 측정부;를 포함하고,상기 테라헤르츠 메타물질 소자는 기판 상에 테라헤르츠 메타물질 구조가 패터닝된 메타물질 기판 및 상기 메타물질 기판 상에 형성되는 수용액이 유입 및 유출되고, 상기 수용액이 수용되어 상기 메타물질 기판에 접하는 수용 공간을 가지는 유량채널을 포함하는 소자로서, 상기 수용 공간의 상기 메타물질 기판으로부터의 높이(hs)는 10μm 이하인 것을 특징으로 하는 이온 농도 검출 장치
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제6항에 있어서,상기 측정부는 미리 측정되어 데이터베이스화된 종류별 수용액 농도에 따른 공진주파수 변화 관계식을 이용하여, 측정되는 공진주파수 변화로부터 이온의 농도를 검출할 수 있는 이온 농도 검출 장치
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제7항에 있어서,상기 수용액 농도에 따른 공진주파수 변화 관계식은 공기(air)에 대한 공진 주파수(f0)를 기준으로 수용액의 농도별 포화 상태에서 상기 테라헤르츠 메타물질 소자의 공진 주파수 변화(Δfsat) 값(Δfsat/f0)을 측정하고, 수용액의 유전상수(εr)를 측정하여 유전상수(εr)와 수용액 몰농도(c)의 관계식을 도출하여 얻어진 관계식인 이온 농도 검출 장치
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