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가변형 메타물질 기반 흡광장치에 있어서,기판;상기 기판의 상부에 형성되는 절연층;상기 절연층의 상부에 형성되는 전극;상기 전극의 상부에 형성되는 기능층; 및상기 기판 및 상기 기능층에 연결되고, 가변 전압을 제공하는 전압장치를 포함하고,상기 기능층은 나노 크기로 형성되는 복수의 양각 구조체를 포함하고,상기 복수의 양각 구조체는 동일한 형태를 갖는 복수의 제1 양각 구조체 및 상기 제1 양각 구조체와 상이한 형태를 갖는 제2 양각 구조체를 포함하는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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제1항에 있어서, 상기 복수의 양각 구조체는 미리 결정된 간격으로 연속하여 배열되는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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제1항에 있어서, 상기 기판은 금속으로 이루어진 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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제3항에 있어서, 상기 금속은 알루미늄을 포함하는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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제1항 있어서, 상기 절연층은 산화물로 이루어진 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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제1항 있어서, 상기 전극은 ITO를 포함하는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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제1항에 있어서, 상기 기능층은 금속을 포함하는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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제7항 있어서, 상기 금속은 은을 포함하는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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제1항 있어서, 상기 절연층의 두께는 15nm 내지 25nm 이고, 상기 전극의 두께는 10nm 내지 20nm 이고, 상기 기능층의 두께는 10nm 내지 20nm 인 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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10
제1항에 있어서, 상기 복수의 제1 양각 구조체는 정사각형의 단면 형상을 갖고, 상기 제2 양각 구조체는 직사각형의 단면 형상을 갖는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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제10항에 있어서, 상기 복수의 제1 양각 구조체 각각은 한 변이 70nm 내지 125nm인 정사각형 형태이고, 서로 인접한 제1 양각 구조체의 중심 사이의 간격은 310nm 내지 425nm 이며, 상기 제2 양각 구조체는 가로 방향의 길이가 140nm 내지 250nm이고, 세로 방향의 길이가 1000nm 내지 2000nm인 직사각형 형태인 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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기판을 형성하는 단계;상기 기판의 상부에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층의 상부에 전극을 형성하는 단계;상기 전극의 상부에 기능층을 형성하는 단계;상기 기능층에 나노 크기로 형성되는 복수의 양각 구조체를 형성하는 단계; 및상기 기판 및 상기 기능층에 연결되고, 가변 전압을 제공하는 전압장치를 형성하는 단계를 포함하고,상기 복수의 양각 구조체는 동일한 형태를 갖는 복수의 제1 양각 구조체 및 상기 제1 양각 구조체와 상이한 형태를 갖는 제2 양각 구조체를 포함하는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 복수의 양각 구조체는 미리 결정된 간격으로 연속하여 배열되는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 기판은 금속으로 이루어진 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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제14항에 있어서, 상기 금속은 알루미늄을 포함하는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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제12항 있어서, 상기 절연층은 산화물로 이루어진 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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제12항 있어서, 상기 전극은 ITO로 이루어진 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 기능층은 금속으로 이루어진 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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제18항에 있어서, 상기 금속은 은을 포함하는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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제12항 있어서, 상기 절연층의 두께는 15nm 내지 25nm 이고, 상기 전극의 두께는 10nm 내지 20nm 이고, 상기 기능층의 두께는 10nm 내지 20nm 인 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 복수의 제1 양각 구조체는 정사각형의 단면 형상을 갖고, 상기 제2 양각 구조체는 직사각형의 단면 형상을 갖는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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제21항에 있어서, 상기 복수의 제1 양각 구조체 각각은 한 변이 70nm 내지 125nm인 정사각형 형태이고, 서로 인접한 제1 양각 구조체의 중심 사이의 간격은 310nm 내지 425nm 이며, 상기 제2 양각 구조체는 가로 방향의 길이가 140nm 내지 250nm이고, 세로 방향의 길이가 1000nm 내지 2000nm인 직사각형 형태인 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치 제조방법
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23
가변형 메타물질 기반 흡광장치에 있어서,기판;상기 기판의 상부에 형성되는 절연층;상기 절연층의 상부에 형성되는 전극;상기 전극의 상부에 형성되는 기능층; 및상기 기판 및 상기 기능층에 연결되고, 가변 전압을 제공하는 전압장치를 포함하고,상기 기능층은 나노 크기로 형성되는 패치 구조를 가지며, 상기 전압장치의 인가 전압의 변화에 따라, 상기 가변형 메타물질 기반 흡광장치의 흡수 파장 영역이 변경되는 것인, 가변형 메타물질 기반 흡광장치
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