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내측으로 공간을 제공하는 일측으로는 용액 공급부가 배치되는 본체;상기 본체의 내부에 배치되고 외부에서 인가되는 신호에 의해 길이가 변화되는 피에조 소자;중간부에는 회전축이 연결되어 상기 본체 내측에 배치되고, 상기 피에조 소자의 길이 변화에 대응하여 단부가 왕복 동작하는 동작 로드;상기 동작 로드의 일단으로 배치되고, 상기 피에조 소자의 길이 축소 시, 상기 동작 로드의 일단부가 원위치로 복귀되도록 상기 동작 로드의 일단으로 탄성력을 인가하는 복원 스프링;상기 동작 로드의 일단에 배치되어 상기 동작 로드의 동작에 따라 상기 용액 공급부를 개폐하는 태핏;상기 동작 로드의 타단에는 ‘ㄱ’ 형태의 절곡부가 형성되고, 상기 절곡부에 수평으로 배치되어 상기 동작 로드에 탄성력을 인가하는 변위 조정 스프링;상기 본체의 일측을 통해 상기 변위 조정 스프링의 단부에 연결되고 회전 조작에 의해 상기 변위 조정 스프링의 압축 정도를 조정하는 조정부; 상기 태핏의 이동량을 외부로 표시하여 나타내는 표시부; 상기 본체의 내측으로 공기를 유입시켜 상기 피에조 소자의 동작 중 발생되는 열을 냉각시키는 냉각부;를 포함하는 피에조 펌프
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제1항에 있어서,상기 변위 조정 스프링은,교체 가능하게 구성되는 피에조 펌프
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제3항에 있어서,상기 변위 조정 스프링은,코일 스프링을 포함하는 피에조 펌프
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제4항에 있어서,상기 조정부는,원통 형상으로서, 외주면상에 나사산이 형성되고, 상기 본체의 일측에 나사 결합되는 피에조 펌프
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제1항에 있어서,상기 표시부는,표면에 눈금이 표시되는 눈금자와,상기 태핏의 일측으로 연결되고 상기 태핏의 변위 정도에 따라 상기 눈금자 상의 눈금을 지시하는 지시자를 포함하는 피에조 펌프
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제1항에 있어서,상기 냉각부는,상기 본체의 일측으로 배치되는 공기 유입구와,상기 공기 유입구를 통해 유입되는 공기를 필터링하는 필터와,상기 필터에서 필터링된 상기 공기를 상기 본체 내측으로 전반에 걸쳐 확산시키는 확산판과,상기 본체의 타측으로 배치되어 상기 공기 유입구를 통해 유입된 상기 공기가 배출되도록 하는 공기 배출구를 포함하는 피에조 펌프
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제7항에 있어서,상기 공기 유입구는, 공기를 불어넣는 블로어를 포함하는 피에조 펌프
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제7항에 있어서,상기 공기 배출구는, 상기 본체 내의 공기를 배출하는 배출팬을 포함하는 피에조 펌프
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