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Cu를 포함하는 전구체층을 비진공 공정인 용액 공정으로 형성하는 단계; 및상기 전구체층의 표면에 In, Ga 및 Se를 진공증발법으로 증착하는 단계로 구성되며,In, Ga 및 Se를 진공증발법으로 증착하는 과정에서 전구체층에 포함된 Cu가 In, Ga 및 Se와 반응하여 CIGS를 형성하는 것을 특징으로 하는 CIGS 박막 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 진공증발법이 동시진공증발 공정으로 수행되는 것을 특징으로 하는 CIGS 박막 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 진공증발법을 수행하는 과정에서 기판의 온도를 500℃이상으로 유지하는 것을 특징으로 하는 CIGS 박막 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 용액 공정이 스핀 코팅 공정인 것을 특징으로 하는 CIGS 박막 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 전구체층이 CuS 또는 CuSe를 포함하는 것을 특징으로 하는 CIGS 박막 형성 방법
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CIGS계 광흡수층을 구비한 태양전지를 제조하는 방법으로서,상기 CIGS계 광흡수층을 제조하는 단계가 청구항 1 내지 청구항 5 중 하나의 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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7
청구항 6에 있어서,상기 태양전지를 제조하는 방법이 소다라임 유리 기판 상에서 수행되는 것을 특징으로 하는 태양전지의 제조방법
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8
비진공 공정인 용액 공정으로 형성된 Cu를 포함하는 전구체층 표면에 In, Ga 및 Se를 진공증발법으로 증착하여 제조되며, 전구체층에 포함된 Cu가 진공증발로 증착된 In, Ga 및 Se와 반응하여 형성된 것을 특징으로 하는 CIGS 박막
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9
청구항 8에 있어서, 상기 전구체층이 CuS 또는 CuSe를 포함하는 것을 특징으로 하는 CIGS 박막
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10
CIGS계 광흡수층을 구비한 태양전지로서,상기 CIGS계 광흡수층이, 비진공 공정인 용액 공정으로 형성된 Cu를 포함하는 전구체층 표면에 In, Ga 및 Se를 진공증발법으로 증착하여, 전구체층에 포함된 Cu가 진공증발로 증착된 In, Ga 및 Se와 반응하여 형성된 CIGS 박막인 것을 특징으로 하는 태양전지
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11
청구항 10에 있어서,상기 태양전지가 소다라임 유리 기판에 형성된 것을 특징으로 하는 태양전지
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