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웨이퍼 표면 가공방법(Texturing method for wafer surface)

  • 기술번호 : KST2018002173
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 환경오염 문제를 해결하고, 간단한 처리방법에 의해 발전효율을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 표면 가공방법에 대한 것으로, 웨이퍼에 레이저를 조사하여 요철을 형성하는 단계; 및 상기 요철이 형성된 웨이퍼를 KOH를 포함하는 수용액에 넣어 클리닝하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/0236 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01) H01L 21/268 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020180017424 (2018.02.13)
출원인 주식회사 코윈디에스티, 가천대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2018-0020190 (2018.02.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2016-0094443 (2016.07.25)
관련 출원번호 1020160094443
심사청구여부/일자 Y (2018.02.13)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 코윈디에스티 대한민국 경기 안양시 동안구
2 가천대학교 산학협력단 대한민국 경기도 성남시 수정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김선주 대한민국 서울특별시 강동구
2 박훈 대한민국 서울특별시 강동구
3 김현태 대한민국 서울특별시 마포구
4 박재웅 대한민국 경기도 안양시 동안구
5 홍순영 대한민국 서울특별시 종로구
6 박상준 대한민국 경기도 하남시 덕풍북로 ***,
7 김지현 대한민국 서울특별시 송파구
8 하승현 대한민국 서울특별시 강동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김인한 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)(특허법인세원)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2018.02.13 수리 (Accepted) 1-1-2018-0154966-15
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2018.02.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0133726-85
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2018.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0412291-91
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2018.04.27 불수리 (Non-acceptance) 1-1-2018-0418929-51
5 서류반려이유통지서
Notice of Reason for Return of Document
2018.05.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0068070-75
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2018.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2018-0514699-74
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2018.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2018-0514690-64
8 서류반려통지서
Notice for Return of Document
2018.06.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0088770-85
9 보정요구서
Request for Amendment
2018.06.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0089626-97
10 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2018.06.12 수리 (Accepted) 1-1-2018-0568958-04
11 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2018.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2018-0555041-05
12 [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
2018.09.17 수리 (Accepted) 1-1-2018-0922945-15
13 보정요구서
Request for Amendment
2018.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0150724-84
14 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2018.10.01 수리 (Accepted) 1-1-2018-0957781-33
15 법정기간연장승인서
2018.10.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0153684-60
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2019-5021033-89
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.01.31 수리 (Accepted) 4-1-2019-5021370-50
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.15 수리 (Accepted) 4-1-2019-5214416-33
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
펄스 에너지 50 내지 200uJ의 레이저를 조사하여 웨이퍼의 일면에 길이 방향의 패턴을 가진 요철 구조를 형성하는 단계; 및상기 요철 구조가 형성된 웨이퍼를 KOH를 포함한 수용액에 넣어 클리닝하는 단계를 포함하고,상기 요철 구조에서 가장 높은 지점과 상기 가장 높은 지점과 이웃하는 다른 가장 높은 지점 사이의 이격거리는 5 내지 50㎛이고 요철의 높이는 5 내지 20㎛이며,상기 KOH를 포함하는 수용액은 IPA(ISO-PROPYL ALCOHOL)를 더 포함하며, 상기 KOH 대비 상기 IPA의 질량비는 1 : 5 내지 1 : 10의 범위이며,상기 요철 구조는 입사광의 반사율을 감소시키고, 상기 웨이퍼의 일면의 반대측인 후면으로부터의 내부반사 광량을 증가시키는 것을 특징으로 웨이퍼 표면 가공방법
2 2
청구항 1에 있어서,상기 웨이퍼는 다결정 웨이퍼 또는 단결정 웨이퍼인 것을 특징으로 웨이퍼 표면 가공방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 WO2018021584 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 (주)코윈디에스티 신재생에너지핵심기술 시간당 3,600장 생산성을 갖는 레이저를 이용한 156mm급 다결정 태양전지 셀용 불산 프리텍스쳐링 설계 및 공정 개발